[实用新型]一种固晶臂控制机构有效

专利信息
申请号: 201820921872.5 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN208385360U 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 陈勇伶 申请(专利权)人: 深圳市矽谷科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 杨宏;刘文求
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 固晶臂 纵向移动组件 转动组件 驱动 抓取 本实用新型 刚性连接 机械结构 快速稳定 螺丝紧固 完成晶片 纵向运动 联接轴 固晶 晶片 装配 释放
【说明书】:

实用新型公开了一种固晶臂控制机构,固晶臂控制机构包括:固晶臂组件(3)、纵向移动组件(2)及转动组件(1);纵向移动组件(2)驱动固晶臂组件(3)纵向运动,转动组件(1)驱动固晶臂组件(3)旋转运动;所述转动组件(1)与纵向移动组件(2)通过联接轴刚性连接,固晶臂组件(3)与纵向移动组件(2)螺丝紧固连接,从而驱动固晶臂组件(3)纵向移动及旋转运动完成晶片的固晶动作,实现快速稳定抓取及释放晶片,同时机械结构简单可靠,简化装配,降低成本。

技术领域

本实用新型涉及电子元器件技术领域,尤其涉及的是一种晶片固晶机的固晶臂控制机构。

背景技术

目前,现有设备纵向移动组件与转动组件通过一条细长轴的刚性连接来实现联动,同时纵向移动组件偏心轴通过一组角轴承固定,转动组件与纵向移动组件采用的刚性连接结构不可调校。其缺点:1、细长轴机械加工容易变形导致同心度差,同时对材料的特性要求高,增加了成本及装配精度,降低了效率;2、偏心轴通过一组角轴承固定导致偏心轴刚性及稳定性降低,而且轴承游隙容易导致偏心轴出现串动,导致固晶品质降低。

因此,现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种固晶臂控制机构,旨在解决现有技术中固晶臂控制机构稳定性较差,零件加工精度高,装配精度要求较高,从而影响晶片固晶品质与效率及成本较高的缺陷。

本实用新型的技术方案如下:

一种固晶臂控制机构,包括固晶臂组件、纵向移动组件及转动组件,所述纵向移动组件与固晶臂组件通过螺丝锁紧连接,用于带动固晶臂组件纵向移动;所述转动组件与纵向移动组件刚性连接,用于带动固晶臂组件往返旋转运动。所述转动组件包括:旋转驱动源、旋转轴、夹紧轴、固晶臂固定座、联接轴、交叉导轨及旋转光电感应器片。所述驱动源与旋转轴通过夹紧轴联接,所述旋转轴与固晶臂座通过一副交叉导轨联接,固晶臂固定座通过交叉导轨与转轴纵向运动;所述联接轴通过螺丝固定在固晶臂固定座;所述旋转轴外缘固定连接有旋转感应器片,所述转动组件一侧设置有R轴光电感应器,所述旋转感应器片的高度与所述R轴光电感应器的高度相适配。

进一步地,所述固晶臂控制机构中,所述固晶臂组件包括:晶臂座、固晶臂、弹片、压紧块、调节弹簧。所述晶臂座与固晶臂通过弹片连接,弹片一端用压紧块与固晶臂连接,弹片另一端用压紧块与晶臂座联接;所述晶臂座中部设有固晶臂收容槽;所述固晶臂通过弹片与晶臂座联接后,固晶臂末端插入晶臂座收容槽内;所述固晶臂末端设置有臂力调节螺栓,所述晶臂座收容槽内设置有固晶臂水平调节螺丝。

进一步地,所述固晶臂控制机构中,所述纵向移动组件包括基座、纵向移动驱动源、联轴器、偏心轴、连杆、连杆轴、滑块座、联接板、纵向移动光电感应器片、直线导轨及滑块。所述驱动源与基座螺丝锁紧联接;所述驱动源通过联轴器与偏心轴联接;所述偏心轴通过两组角轴承固定在基座上;所述连杆两端设有两组球轴承,一端与偏心轴联接,另一端与连杆轴联接;所述直线导轨固定在基座上,所述滑块分别与滑块座及直线导轨联接,所述连杆轴及联接板与滑块座联接。

进一步地,所述固晶臂控制机构中,纵向移动组件的联接板内设置有一对角轴承,角轴承与转动组件中的联接轴刚性连接,从而实现固晶臂通过上述联接后完成旋转运动与纵向移动的联动。

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