[实用新型]液体处理设备有效
| 申请号： | 201820927062.0 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN208594349U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 范慧斌;郭政 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 邢惠童 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理液 液体处理设备 排液阀 排液管路 本实用新型 反应区 存储 发生故障 化工处理 恢复供电 设备故障 可打开 排放量 断电 | ||
1.一种液体处理设备，包括：处理液反应区(1)；
其特征在于，所述液体处理设备还包括：通过第一排液管路(2)与所述处理液反应区(1)连通的处理液存储区(3)；
设置于所述第一排液管路(2)上的第一排液阀(4)；
与所述处理液反应区(1)或者所述处理液存储区(3)连通的第二排液管路(5)；
设置于所述第二排液管路(5)上的第二排液阀(6)。
2.如权利要求1所述的液体处理设备，其特征在于，所述处理液存储区(3)位于所述处理液反应区(1)的下方。
3.如权利要求1所述的液体处理设备，其特征在于，所述液体处理设备还包括：设置于所述处理液存储区(3)上的排气机构(31)。
4.如权利要求3所述的液体处理设备，其特征在于，所述排气机构(31)为设置于所述处理液存储区(3)上的可掀式盖板。
5.如权利要求3所述的液体处理设备，其特征在于，所述排气机构(31)为设置于所述处理液存储区(3)上的呼吸阀。
6.如权利要求1所述的液体处理设备，其特征在于，所述第一排液阀(4)为自动阀；
所述液体处理设备还包括：与所述第一排液阀(4)电连接的控制机构(7)，所述控制机构(7)用于控制所述第一排液阀(4)的启闭。
7.如权利要求1所述的液体处理设备，其特征在于，所述液体处理设备还包括：两端分别与所述处理液反应区(1)和所述处理液存储区(3)连通的回液管路(8)；
设置于所述回液管路(8)上的抽吸泵(9)，所述抽吸泵(9)用于将所述处理液存储区(3)内的处理液抽吸至所述处理液反应区(1)。
8.如权利要求7所述的液体处理设备，其特征在于，所述处理液反应区(1)内设置有用于承载待处理物品的承载件(10)；
所述处理液反应区(1)与所述回液管路(8)连通的接口位于所述承载件(10)的上方。
9.如权利要求1-8任一项所述的液体处理设备，其特征在于，所述液体处理设备为硅片制绒设备。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于君泰创新(北京)科技有限公司，未经君泰创新(北京)科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820927062.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板
- 下一篇：一种热氮气加热筒
