[实用新型]液体处理设备

说明书

本实用新型公开了一种液体处理设备，属于化工处理技术领域。该液体处理设备包括：处理液反应区、处理液存储区、第一排液管路、第一排液阀、第二排液管路和第二排液阀。本实用新型提供的液体处理设备在对待处理物品进行表面处理时，第一排液阀和第二排液阀均处于关闭状态。在处理液未被充分使用的情形下，如若该液体处理设备发生故障或者断电，此时可打开第一排液阀，使处理液经第一排液管路进入处理液存储区进行存储。直至设备故障解除或恢复供电，再使处理液存储区内的处理液重新置于处理液反应区中继续使用。从而避免了处理液的浪费，减少了处理液的排放量。

技术领域

本实用新型涉及化工处理技术领域，特别涉及一种液体处理设备。

背景技术

通过向液体处理设备内注入处理液，能够对待处理物品进行表面处理。以硅片制绒设备为例，在硅片制绒的过程中，为了提高硅片制绒的质量和成品率，以及避免硅片表面累积硅片制绒过程中的残留物，可以往硅片制绒设备中注入化学处理液，以对硅片表面的脏污和部分损伤层，以及硅片表面的残留物进行清洗。

相关技术中，硅片制绒设备包括处理液反应区，与处理液反应区连通的排液管路，排液管路上设置的排液阀，排液阀处于常关状态。其中，硅片通过承载件放置于处理液反应区，以通过其内的化学处理液进行表面处理。

设计人发现，相关技术至少存在以下技术问题：

当设备故障或突然断电时，为了避免硅片在化学处理液中停留过长时间，多通过排液阀直接排放。对于未充分使用的化学处理液来说，上述操作会造成浪费，提高成本。

实用新型内容

本实用新型提供了一种液体处理设备，可以解决上述处理液浪费的问题。所述技术方案如下：

本实用新型提供了一种液体处理设备，包括：处理液反应区；

所述液体处理设备还包括：通过第一排液管路与所述处理液反应区(1)连通的处理液存储区；

设置于所述第一排液管路上的第一排液阀；

与所述处理液反应区或者所述处理液存储区连通的第二排液管路；

设置于所述第二排液管路上的第二排液阀。

在一种可能的实现方式中，所述处理液存储区位于所述处理液反应区的下方。

可选地，所述液体处理设备还包括：设置于所述处理液存储区上的排气机构。

可选地，所述排气机构为设置于所述处理液存储区上的可掀式盖板。

可选地，所述排气机构为设置于所述处理液存储区上的呼吸阀。

可选地，所述第一排液阀为自动阀；

所述液体处理设备还包括：与所述第一排液阀电连接的控制机构，所述控制机构用于控制所述第一排液阀的启闭。

可选地，所述液体处理设备还包括：两端分别与所述处理液反应区和所述处理液存储区连通的回液管路；

设置于所述回液管路上的抽吸泵，所述抽吸泵用于将所述处理液存储区内的处理液抽吸至所述处理液反应区。

可选地，所述处理液反应区内设置有用于承载待处理物品的承载件；

所述处理液反应区与所述回液管路连通的接口位于所述承载件的上方。

可选地，所述液体处理设备为硅片制绒设备。

本实用新型提供的技术方案的有益效果至少包括：