[实用新型]一种基于射频MEMS开关的可调滤波器

权利要求书

1.一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述可调滤波器包括：

至少三个射频MEMS开关，所述射频MEMS开关包括衬底、微波传输线、驱动电极、固定锚点及上电极，所述衬底一侧面上设置所述微波传输线，并在所述微波传输线上通过固定锚点设置所述上电极，在所述上电极下方设置所述驱动电极；

至少三个带通滤波器，所述上电极与所述微波传输线连接的一端上设置所述带通滤波器，并通过可调中心频率，限定所述射频MEMS开关的工作频率。

2.根据权利要求1所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述微波传输线包括至少一条信号线、至少两条共面波导地线，所述信号线两侧对称平行设置所述共面波导地线；

所述上电极一端与所述共面波导地线连通，另一端横跨过所述信号线后，位于另一所述共面波导地线上方位置。

3.根据权利要求2所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述信号线上设有至少三处缺口，在所述三处缺口内分别设置有对应的驱动电极，在所述缺口的上表面设置有介质层，并在所述驱动电极上方设置所述上电极。

4.根据权利要求2所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述上电极为矩形桥结构，所述上电极与所述驱动电极对应的一侧面均匀开设有释放孔，形成释放孔阵列。

5.根据权利要求2所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述带通滤波器为滤波器，所述滤波器设置在所述上电极与所述共面波导地线连通的一端上。

6.根据权利要求5所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述带通滤波器的三个可调中心频率点分别为8.5GHz，9GHz，9.5GHz。

7.根据权利要求4所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述释放孔直径大小为6-10μm，所述释放孔阵列包括至少4排，并垂直于所述信号线的长度方向进行排列，任意一排的释放孔数量为6-12个，相邻释放孔间距为10-20μm。