[实用新型]一种基于射频MEMS开关的可调滤波器

说明书

本实用新型属于电子元器件技术领域，具体涉及一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，至少三个射频MEMS开关，所述射频MEMS开关包括衬底、微波传输线、驱动电极、固定锚点及上电极，所述衬底一侧面上设置所述微波传输线，并在所述微波传输线上通过固定锚点设置所述上电极，在所述上电极下方设置所述驱动电极；至少三个带通滤波器，所述上电极与所述微波传输线连接的一端上设置所述带通滤波器，并通过可调中心频率，限定所述射频MEMS开关的工作频率。本实用新型可实现三个可调中心频率点，具有结构简单、体积小、易集成、应用范围广的特点，可应用于多频带的通信设备中。

技术领域

本实用新型属于电子元器件技术领域，具体涉及一种基于射频MEMS开关的可调滤波器。

背景技术

在现代通信系统中，基于射频MEMS开关的可调滤波器是关键的射频器件之一，可以有效滤除各频段的噪声和各种无用信号、降低频道间干扰，保障通信设备正常工作，实现高质量通信。因此，基于射频MEMS开关的可调滤波器广泛应用于包括雷达、智能弹药、卫星、单兵作战系统、舰船及广播电视上的射频前端。

在欧美、日本等国家，已经制造出了可以商用的一些可调滤波器产品，实现带通滤波器2中心频率在特定范围内可调。国内起步较晚但发展较快，基于射频MEMS开关的可调滤波器研究主要集中在清华大学、北京大学、北京邮电大学、东南大学、中北大学、中电13所、中科院微电子所等，许多设计理论、仿真方法、制造工艺技术和器件的测试方法等技术的研究和开发工作得到世界同行的承认。传统的可调滤波器一般用YIG(钇铁石榴石)振荡器或固态可调电抗元件作为调谐元件，但YIG振荡器的体积很大，功率消耗大，线性度不高，而固态可调电抗元件在微波、毫米波段虽然体积小，但损耗大，线性度也不够高。基于射频MEMS技术的可调带通滤波器2，由于其体积小、集成度高、调节方便、选择性好，因此基于射频MEMS开关的可调滤波器在远距离通信及各种信号处理方面具有重要应用价值。目前已有的MEMS可调滤波器插入损耗较差，结构不紧凑，体积大，难以和电子通信系统兼容，无法满足雷达接收机、无线通信系统等的要求。例如加拿大滑铁卢大学利用0.35μm CMOS工艺设计的RF MEMS可调带通滤波器2通过偏置电压控制MEMS可变电容器的高度来从而调节滤波器的中心频率，设计的中心频率为9.5GHz，插入损耗为5.66dB。Reid J R等人设计的基于CPW的RF MEMS可调滤波器的尺寸为6.55mm×2.8mm×0.8mm。

一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，可实现三个可调中心频率点，具有结构简单、体积小、易集成、应用范围广的特点，可应用于多频带的通信设备中。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对背景技术的不足，设计一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，以实现三个可调中心频率点，具有结构简单、体积小、易集成、应用范围广的特点，可应用于多频带的通信设备中。

本实用新型的具体技术方案如下：一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，所述可调滤波器包括：

至少三个射频MEMS开关，所述射频MEMS开关包括衬底、微波传输线、驱动电极、固定锚点及上电极，所述衬底一侧面上设置所述微波传输线，并在所述微波传输线上通过固定锚点设置所述上电极，在所述上电极下方设置所述驱动电极；

至少三个带通滤波器，所述上电极与所述微波传输线连接的一端上设置所述带通滤波器，并通过可调中心频率，限定所述射频MEMS开关的工作频率。

进一步地，所述微波传输线包括至少一条信号线、至少两条共面波导地线，所述信号线两侧对称平行设置所述共面波导地线；

所述上电极一端与所述共面波导地线连通，另一端横跨过所述信号线后，位于另一所述共面波导地线上方位置。

进一步地，所述信号线上设有至少三处缺口，在所述三次缺口内分别设置有对应的驱动电极，在所述缺口的上表面设置有介质层，并在所述驱动电极上方设置所述上电极。