[实用新型]一种带冷却装置的晶圆测厚仪有效
| 申请号： | 201820961685.X | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN208398771U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 朱红伟;王丽;刘少丽;王倩;蔡道库 | 申请（专利权）人： | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223002 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测厚仪 晶圆 固定罩 测量 承重支架 固定设置 透明 外壳体 承重连接板 固定装置 带冷却 稳固性 本实用新型 铰链连接 收纳装置 影响测量 固定架 前表面 晃动 | ||
1.一种带冷却装置的晶圆测厚仪，包括测厚仪外壳体（15），其特征在于：还包括固定装置和收纳装置，所述测厚仪外壳体（15）的前表面固定设置有承重支架（1），所述承重支架（1）的顶部通过铰链连接设置有透明固定罩（3），所述测厚仪外壳体（15）的顶部固定设置有测量固定架（2），所述固定装置包括透明固定罩（3），所述透明固定罩（3）的底部固定设置有承重连接板（5），所述承重连接板（5）的顶部通过螺栓固定设置有固定弹簧（4），所述承重连接板（5）的底部固定设置有晶圆固定卡板（10），所述晶圆固定卡板（10）的底部固定设置有扩张弹簧（9），所述承重支架（1）的一侧固定设置有固定卡钮（16）。
2.根据权利要求1所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述收纳装置包括固定收纳盒（6），所述固定收纳盒（6）的内侧固定设置有晶圆收纳卡板（11），所述晶圆收纳卡板（11）的一侧固定设置有承重弹簧（12），所述固定收纳盒（6）的一侧固定设置有固定卡块（8），所述固定卡块（8）的底部固定设置有第一磁性板（13），所述承重支架（1）的一侧对应固定卡块（8）的位置处通过螺栓连接设置有固定卡槽盒（7），所述固定卡槽盒（7）的内侧固定设置有第二磁性板（14），所述固定收纳盒（6）和承重支架（1）通过固定卡槽盒（7）和固定卡块（8）卡合连接。
3.根据权利要求1所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述晶圆固定卡板（10）的顶部固定设置有两个凸型卡块，且所述承重连接板（5）的底部对应凸型卡块的位置处开设有滑动槽，所述承重连接板（5）和晶圆固定卡板（10）通过凸型卡块和滑动槽卡合连接。
4.根据权利要求1所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述晶圆固定卡板（10）的剖面为弧形结构。
5.根据权利要求2所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述第二磁性板（14）的顶部开设有连接凹槽。
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