[实用新型]一种便携式晶圆测厚仪有效
| 申请号： | 201820961686.4 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN208296801U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 贾红星;朱威莉;李锋;张慧 | 申请（专利权）人： | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223002 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 主体支架 手把 螺母 支撑脚 固定底座 测厚仪 连接杆 连接柱 下表面 支撑杆 晶圆 手轮 倾斜度 本实用新型 螺栓 顶端设置 拐角位置 旋合固定 与操作 底座 测量 贯穿 | ||
1.一种便携式晶圆测厚仪，包括主体支架（7），其特征在于：所述主体支架（7）的顶端设置有调节机构，所述调节机构包括手轮手把（1）、连接杆（2）、手轮（3）、第一螺母（4）、调节手把（5）、调节手把连接柱（12）和第三调节螺母（13），所述调节手把（5）与所述主体支架（7）通过所述调节手把连接柱（12）和所述第三调节螺母（13）旋合固定连接，所述连接杆（2）安装在所述主体支架（7）一侧贯穿于所述主体支架（7）的中间位置处，所述连接杆（2）贯穿于所述调节手把（5）的一端，且所述调节手把（5）与所述连接杆（2）通过所述第一螺母（4）旋合连接，所述连接杆（2）的顶端贯穿于所述手轮（3），所述手轮（3）与所述连接杆（2）通过螺纹旋合连接，所述手轮手把（1）与所述手轮（3）通过滚珠活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种便携式晶圆测厚仪，其特征在于：所述主体支架（7）的下表面设置有支撑机构，所述支撑机构包括固定底座（8）、支撑脚（9）、第二调节螺母（10）、支撑杆（11）和螺栓（14），所述固定底座（8）安装在所述主体支架（7）的下表面，所述固定底座（8）与所述支撑脚（9）通过所述支撑杆（11）固定连接，所述螺栓（14）贯穿于所述支撑杆（11）的一端与所述支撑脚（9）的顶端，且所述支撑脚（9）与所述支撑杆（11）通过所述第二调节螺母（10）与所述螺栓（14）旋合连接。
3.根据权利要求1所述的一种便携式晶圆测厚仪，其特征在于：所述连接杆（2）的中间位置处设置有测量显示器（6），且所述连接杆（2）贯穿于所述测量显示器（6）的中间位置处。
4.根据权利要求2所述的一种便携式晶圆测厚仪，其特征在于：所述支撑脚（9）共设置有四个，且四个所述支撑脚（9）分别固定安装在所述固定底座（8）的下表面四个拐角位置处支撑杆（11）的一端。
5.根据权利要求1所述的一种便携式晶圆测厚仪，其特征在于：所述调节手把（5）的另一端内部通过弹簧和伸缩杆与所述主体支架（7）固定连接。
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