[实用新型]宽幅等离子体处理玻璃的装置

权利要求书

1.一种宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：包括高频高压交流等离子体电源、气体腔室、设于所述气体腔室外底端的高压电极和分别位于所述高压电极两侧的两个介质阻挡板，所述气体腔室上设置有至少一个进气孔和至少一个出气孔，所述高压电极与所述高频高压交流等离子体电源相连接，每个所述介质阻挡板的外侧端连接有第一电极，两个所述第一电极均与一电阻相连接，所述电阻与地电极相连接。

2.根据权利要求1所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述高压电极的下方设置有传送机构，所述传送机构包括主动滚筒、从动滚筒、传送带和两个传送滚筒，所述主动滚筒连接有链轮组件，所述传送带的底端设置有第二电极，所述第二电极与地电极相连接。

3.根据权利要求1所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述进气孔呈圆形，所述进气孔的直径为6mm。

4.根据权利要求1所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述气体腔室的底端间隔设置有多个所述出气孔，相邻所述出气孔之间的间距为4mm。

5.根据权利要求1所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述出气孔呈椭圆形，所述出气孔的长直径为20mm、宽直径为4mm。

6.根据权利要求1所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述高压电极包括金属毛细管、包裹在所述金属毛细管外的石英管。

7.根据权利要求6所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述石英管的内径为1mm、厚度为0.5mm、长度为40mm。

8.根据权利要求1所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述第一电极为铜胶带，所述第一电极与所述介质阻挡板紧密粘贴。

9.根据权利要求2所述的宽幅等离子体处理玻璃的装置，其特征在于：所述第二电极为铜胶带，所述第二电极的长为400mm、宽为2mm。