[实用新型]宽幅等离子体处理玻璃的装置

说明书

本实用新型涉及一种宽幅等离子体处理玻璃的装置，包括高频高压交流等离子体电源、气体腔室、设于气体腔室外底端的高压电极和分别位于高压电极两侧的两个介质阻挡板，气体腔室上设置有至少一个进气孔和至少一个出气孔，高压电极与高频高压交流等离子体电源相连接，每个介质阻挡板的外侧端连接有第一电极，两个第一电极均与一电阻相连接，电阻与地电极相连接。本实用新型可在大气压下产生大面积等离子体辉光放电；可将第一电极之间的等离子体引出一定宽度，充分高效的进行材料表面处理，能应用于工业生产流水线，对于大气压下等离子体材料表面处理具有重要意义；可有效改善石英玻璃的水接触角，亲水性明显增加，对改变玻璃亲水性方面具有重要意义。

技术领域

本实用新型涉及一种宽幅等离子体处理玻璃的装置。

背景技术

随着科学发展的不断进步，人们对所使用的材料的要求日益增高，例如传统的金属或非金属材料已不能满足目前生产生活的需要，因此各式各样的材料处理方式顺应而生。近年来，低温等离子体材料处理受到了广泛关注，主要是因为低温等离子体在材料处理方面拥有重要价值，不仅可以改变材料表面结构，同时还能引入羟基、氨基等亲水基团，并提高材料的亲水性及粘结性，因此被广泛的用于改变材料表面特性。

在大气压下放电形式主要有：电晕放电，辉光放电，电弧放电，但电晕与电弧并不能用于大多数材料处理主要是因为电弧产生时局部能量及温度过高容易对待处理样品产生破坏，而电晕放电较弱，处理效率太低，并且极不均匀。大气压下辉光放电拥有良好的均匀性，同时可大面积产生等离子体，高效的进行材料处理。产生等离子体通常采用介质阻挡放电的方法，即将绝缘介质插入放电空间中的一种非平衡态气体放电，当两电极之间施加足够高的交流电压时，为防止电极被击穿，需要将一个或者两个电极用绝缘介质覆盖，从而产生等离子体，但大多数介质阻挡放电存在缺点，即容易产生丝状放电，不利于进行材料处理。目前市场上所销售的石英玻璃，表面基本毫无亲水性可言，而目前部分企业开始追求亲水性较好的石英玻璃材料，改善玻璃亲水性也成为目前研究热门内容之一。

实用新型内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种结构简单的宽幅等离子体处理玻璃的装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种宽幅等离子体处理玻璃的装置，包括高频高压交流等离子体电源、气体腔室、设于所述气体腔室外底端的高压电极和分别位于所述高压电极两侧的两个介质阻挡板，所述气体腔室上设置有至少一个进气孔和至少一个出气孔，所述高压电极与所述高频高压交流等离子体电源相连接，每个所述介质阻挡板的外侧端连接有第一电极，两个所述第一电极均与一电阻相连接，所述电阻与地电极相连接。

本实用新型一个较佳实施例中，宽幅等离子体处理玻璃的装置进一步包括所述高压电极的下方设置有传送机构，所述传送机构包括主动滚筒、从动滚筒、传送带和两个传送滚筒，所述主动滚筒连接有链轮组件，所述传送带的底端设置有第二电极，所述第二电极与地电极相连接。

本实用新型一个较佳实施例中，宽幅等离子体处理玻璃的装置进一步包括所述进气孔呈圆形，所述进气孔的直径为6mm。

本实用新型一个较佳实施例中，宽幅等离子体处理玻璃的装置进一步包括所述气体腔室的底端间隔设置有多个所述出气孔，相邻所述出气孔之间的间距为4mm。

本实用新型一个较佳实施例中，宽幅等离子体处理玻璃的装置进一步包括所述出气孔呈椭圆形，所述出气孔的长直径为20mm、宽直径为4mm。

本实用新型一个较佳实施例中，宽幅等离子体处理玻璃的装置进一步包括所述高压电极包括金属毛细管、包裹在所述金属毛细管外的石英管。

本实用新型一个较佳实施例中，宽幅等离子体处理玻璃的装置进一步包括所述石英管的内径为1mm、厚度为0.5mm、长度为40mm。

本实用新型一个较佳实施例中，宽幅等离子体处理玻璃的装置进一步包括所述第一电极为铜胶带，所述第一电极与所述介质阻挡板紧密粘贴。