[实用新型]一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置有效
| 申请号： | 201821006647.5 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN208451388U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 吴虎 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B49/16;B24B37/005 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 推进轴 复位弹簧 密封腔体 顶盖 柔性板 研磨垫修整器 腔室 轴衬 变形 压力传感器检测 本实用新型 压力传感器 垂直安装 底部位置 空气压力 上下伸缩 预期位置 运动位置 密封腔 监控 弹簧 伸入 缠绕 体内 | ||
1.一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，包括一腔室、一可上下伸缩变形的密封腔体、一用于向所述密封腔体充入压缩空气的轴衬、一用于向下推动柔性板的推进轴和一用于回复所述柔性板至初始位置的复位弹簧；
所述轴衬为长条结构且内部中空，所述轴衬的一端伸入至所述密封腔体内，另一端连接空气压缩设备；
所述推进轴包括推进轴本体和推进轴顶盖，所述推进轴的所述推进轴顶盖固定安装在所述密封腔体的底部位置；所述推进轴的所述推进轴本体的一端垂直安装在所述柔性板上，另一端固定设置在所述推进轴顶盖上；
所述复位弹簧缠绕在所述推进轴本体上，所述复位弹簧的顶端固定安装在所述推进轴顶盖上，所述复位弹簧的另一端固定安装在所述腔室的内侧底部；
于所述柔性板上固定安装有一研磨盘；
于所述复位弹簧上还固定安装有一压力传感器。
2.如权利要求1所述的一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，所述的压力传感器为弹簧管式压力传感器。
3.如权利要求1所述的一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，所述的压力传感器为可变电感式压力传感器。
4.如权利要求1所述的一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，所述的腔体为一密封隔膜。
5.如权利要求4所述的一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，所述的密封隔膜由橡胶制成。
6.如权利要求1所述的一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，所述的空气压缩设备为空气压缩机。
7.如权利要求1所述的一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，所述的推进轴本体和所述的推进轴顶盖一体成型。
8.如权利要求1所述的一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，其特征在于，所述的装置还包括一位置传感器，所述位置传感器固定设置在所述腔室的内侧底部位置。
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