[实用新型]一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，包括腔室、密封腔体、轴衬、推进轴和复位弹簧，轴衬伸入密封腔体内向密封腔体充入空气，密封腔体可上下伸缩变形，推进轴的推进轴顶盖固定安装在密封腔体的底部位置，推进轴的推进轴本体一端垂直安装在柔性板上，另一端固定安装在推进轴顶盖上，复位弹簧缠绕在推进轴本体上，复位弹簧的顶端固定安装在推进轴顶盖上，另一端固定安装在腔室的内侧底部，复位弹簧上还固定安装有一压力传感器，与现有技术相比，该装置通过于复位弹簧上设置的压力传感器检测弹簧的压力值以判断柔性板的运动位置，解决了密封腔体久而变形在相同的空气压力下，无法推动柔性板至预期位置的技术问题。

技术领域

本发明涉及一种监控装置，尤其涉及一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置。

背景技术

在化学机械研磨工艺流程中，研磨垫久而用之会其表面会产生一些残留的研磨颗粒，这些残留的研磨颗粒会影响研磨的均匀性。所以通常情况下，需要使用研磨垫修整器刮除研磨垫上残留的这些研磨颗粒以保持研磨垫的使用性能。

现有技术中的研磨垫修整器的工作原理是，首先向研磨垫修整器的腔体内输入压缩空气，压缩空气使得腔体膨胀变形，从而产生一个向下的推动力推动推进轴向下运动，进而推动与推进轴连接的柔性板带动研磨盘下压在研磨垫上，然后通过旋转研磨盘以达到刮除残留的研磨颗粒的效果。

然而上述的技术方案存在一些技术问题，比如，现有技术中的研磨垫修整器判断研磨盘是否下压到研磨垫的依据主要靠两个侦测手段，一是通过一位置侦测传感器侦测柔性板的位置来判断，另一个则是通过侦测输入的压缩空气的压力来判断。但上述的两个侦测手段存在很大的误判可能，如图1所示，如果构成腔体的密封隔膜老化变硬，弹性变形效果变差，或者密封隔膜收到扭曲力使之扭曲变形产生褶皱，这些异常都会造成密封隔膜形变的拉伸力增大，这种情况导致的后果是，向密封隔膜腔体中输入相同压力的压缩空气时，气体压力收到异常隔膜的阻力无法推动推进轴向下运动到预期的工作位置，柔性板无法带动推动研磨盘下压到研磨垫上，但此时位置传感器已无法侦测到柔性板，系统则会误判柔性板已经到达预期的工作位置，但实际是研磨盘无法定时打磨研磨垫，会给生产带来麻烦，造成企业损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，该装置通过在研磨垫修整器中增加一压力传感器，该压力传感器通过检测复位弹簧的压力值判断柔性板的运动位置，解决了密封隔膜久而变形在相同的输入空气压力下，无法推动柔性板至预期的工作位置的技术问题。

本实用新型解决其技术问题采取的技术方案是，提供一种用于监控研磨垫修整器工作状态的装置，该装置包括一腔室、一可上下伸缩变形的密封腔体、一用于向所述密封腔体充入压缩空气的轴衬、一用于向下推动柔性板的推进轴和一用于回复所述柔性板至初始位置的复位弹簧；

所述轴衬为长条结构且内部中空，所述轴衬的一端伸入至所述密封腔体内，另一端连接空气压缩设备；

所述推进轴包括推进轴本体和推进轴顶盖，所述推进轴的所述推进轴顶盖固定安装在所述密封腔体的底部位置；所述推进轴的所述推进轴本体的一端垂直安装在所述柔性板上，另一端固定设置在所述推进轴顶盖上；

所述复位弹簧缠绕在所述推进轴本体上，所述复位弹簧的顶端固定安装在所述推进轴顶盖上，所述复位弹簧的另一端固定安装在所述腔室的内侧底部；

于所述柔性板上固定安装有一研磨盘；

于所述复位弹簧上还固定安装有一压力传感器。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的压力传感器为弹簧管式压力传感器。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的压力传感器为可变电感式压力传感器。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的腔体为一密封隔膜。