[实用新型]镀膜系统

权利要求书

1.一种镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：

所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备、所述第二基板检测设备电性连接；

所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；

所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。

2.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一基板检测设备包括第一信号收发器和第一信号反射板，所述第二基板检测设备包括第二信号收发器和第二信号反射板；

所述第一信号收发器、所述第二信号收发器均与所述控制设备电性连接；

所述第一信号收发器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第一侧壁上，所述第一信号反射板安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第二侧壁上，且所述第一信号收发器的位置与所述第一信号反射板的位置相对应，所述第一信号收发器的信号发射方向与所述第一信号反射板相垂直；

所述第二信号收发器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第一侧壁上，所述第二信号反射板安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第二侧壁上，且所述第二信号收发器的位置与所述第二信号反射板的位置相对应，所述第二信号收发器的信号发射方向与所述第二信号反射板相垂直。

3.根据权利要求2所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一侧壁上设置有与所述第一信号收发器相配合的第一通孔、与所述第二信号收发器相配合的第二通孔，所述第一信号收发器安装在所述第一通孔中，所述第二信号收发器安装在所述第二通孔中；

所述第二侧壁上设置有与所述第一信号反射板相配合的第三通孔、与所述第二信号反射板相配合的第四通孔，所述第一信号反射板安装在所述第三通孔中，所述第二信号反射板安装在所述第四通孔中。

4.根据权利要求3所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔、所述第四通孔中均安装有可被检测信号穿透的隔离层；

所述第一信号收发器位于所述第一通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第二信号收发器位于所述第二通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第一信号反射板位于所述第三通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第二信号反射板位于所述第四通孔中的隔离层远离所述载板的一面。

5.根据权利要求4所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一通孔的隔离层上与所述第一信号收发器相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒，所述第二通孔的隔离层上与所述第二信号收发器相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒。

6.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一基板检测设备包括第一信号发射器和第一信号接收器，所述第二基板检测设备包括第二信号发射器和第二信号接收器；

所述第一信号发射器、所述第一信号接收器、所述第二信号发射器、所述第二信号接收器均为所述控制设备电性连接；

所述第一信号发射器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第一侧壁上，所述第一信号接收器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第二侧壁上，且所述第一信号发射器的位置与所述第一信号接收器的位置相对应；

所述第二信号发射器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第一侧壁上，所述第二信号接收器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第二侧壁上，且所述第二信号发射器的位置与所述第二信号接收器的位置相对应。

7.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的检测信号所在的直线与所述载板沿着传输方向的中轴线垂直相交。

8.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜系统，其特征在于，所述镀膜腔室为真空镀膜腔室。

9.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统还包括第一信号放大器和第二信号放大器；

所述第一基板检测设备通过所述第一信号放大器与所述控制设备电性连接，所述第二基板检测设备通过所述第二信号放大器与所述控制设备电性连接。