[实用新型]镀膜系统

说明书

本实用新型提供了一种镀膜系统，属于镀膜技术领域。所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备电性连接；所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。采用本实用新型，控制设备可以准确控制承载基板的载板停止在预设位置处，从而，可以准确控制镀膜腔室的入口阀门和出口阀门的关闭与开启，进而有效避免了入口阀门或者出口阀门压碎基板的情况。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种镀膜系统。

背景技术

太阳能电池制备中，需要使用镀膜系统在太阳能基板(以下统称为基板)上镀一层用于发电的膜。

如图1所示，镀膜系统通常包括镀膜腔室01、控制设备(图1中未示出)、传输设备(图1中未示出)、第一基板检测设备02和第二基板检测设备03，其中，镀膜腔室01的一侧壁上设置有入口和入口阀门，与其相对的另一侧壁上设置有出口和出口阀门，在入口与出口之间形成供传输设备的载板传输的传输通路，基板04放置在载板上，如图1所示，第一基板检测设备02和第二基板检测设备03的信号传输线路(如检测设备发射的激光形成的光传输线路，图1中的虚线即为信号传输线路)平行于载板所在的平面且垂直于载板的传输方向(图1中箭头所指的方向)。

这样，当基板04通过入口进入镀膜腔室01时，由于基板04具有一定的厚度，会遮挡第一基板检测设备02的一部分甚至全部的检测信号，此时控制设备会检测到第一基板检测设备02的检测信号小于预设强度阈值。随后基板04继续沿着传输通路向镀膜腔室的内部传输，当基板04刚开始遮挡第二基板检测设备03的一部分甚至全部的检测信号，控制设备刚开始检测到第一基板检测设备02和第二基板检测设备03的检测信号均小于预设强度阈值时，控制传输设备停止传输，使承载基板04的载板停在预设位置处，控制设备再控制镀膜腔室01的入口阀门关闭，然后对镀膜腔室01内的基板04进行镀膜处理。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现相关技术至少存在以下问题：

镀膜系统中的各种设备在运行的过程中会不可避免的发生振动的情况，长时间使用之后会引起第一基板检测设备或者第二基板检测设备的位置发生偏移，例如，检测通路位于传输通路的上方或者下方，这样也会使控制设备检测到的检测信号小于预设强度阈值，导致控制设备不能准确控制镀膜腔室的入口阀门或者出口阀门的关闭与开启，甚至还会出现入口阀门或者出口阀门压碎基板的情况。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种镀膜系统，以解决相关技术的问题。所述技术方案如下：

根据本实用新型实施例提供了一种镀膜系统，所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：

所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备、所述第二基板检测设备电性连接；

所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；

所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。

可选的，所述第一基板检测设备包括第一信号收发器和第一信号反射板，所述第二基板检测设备包括第二信号收发器和第二信号反射板；

所述第一信号收发器、所述第二信号收发器均与所述控制设备电性连接；