[实用新型]通用载板

权利要求书

1.一种通用载板，其特征在于，包括：

主载板(1)和副载板，其中，

所述主载板(1)具有镂空区域(3)，所述镂空区域(3)四周具有边框(2)，在所述边框(2)朝向所述镂空区域(3)的侧壁上形成承载托(4)；

所述副载板套设在所述镂空区域(3)之中，所述副载板具有外框(5)和内框(9)，所述外框(5)搭接在所述承载托(4)上，所述内框(9)用于承载硅片(0)。

2.根据权利要求1所述的通用载板，其特征在于，

所述内框(9)由两条滑动内框(10)和两条固定内框(11)组成，两条所述固定内框(11)彼此平行地相对设置，每条所述固定内框(11)上设置有滑槽(12)；每条所述滑动内框(10)的两端，分别滑动地套设在一个所述滑槽(12)内。

3.根据权利要求2所述的通用载板，其特征在于，

所述外框(5)位于所述内框(9)上方，且所述外框(5)具有搭接部(8)，所述搭接部(8)搭接在所述承载托(4)上；

所述滑动内框(10)和所述固定内框(11)上分别具有承载部(7)，所述承载部(7)承载所述硅片(0)。

4.根据权利要求2所述的通用载板，其特征在于，

所述固定内框(11)上形成与所述滑槽(12)导通的腰型孔(13)，所述腰型孔(13)的延伸方向与所述滑动内框(10)的滑动方向相同；

所述滑动内框(10)与所述滑槽(12)滑动配合的部分，具有盲孔(14)；

还包括固定钉，在所述滑动内框(10)滑动到预定位置时，通过所述腰型孔(13)和所述盲孔(14)，固定所述滑动内框(10)。

5.根据权利要求4所述的通用载板，其特征在于，

所述腰型孔(13)为锥形孔，靠近所述滑动内框(10)一侧的孔径小于远离所述滑动内框(10)一侧的孔径；

所述固定钉具有与所述腰型孔(13)匹配的锥形钉帽。

6.根据权利要求3所述的通用载板，其特征在于，

所述承载部(7)的宽度在1mm-7mm之间。

7.根据权利要求1所述的通用载板，其特征在于，

任意相邻的两个所述镂空区域(3)之间的中心距为164.4mm-164.6mm。

8.根据权利要求1所述的通用载板，其特征在于，

所述镂空区域(3)呈正方形，边长为160mm-162mm。

9.根据权利要求1所述的通用载板，其特征在于，

在同一所述镂空区域(3)内，所述承载托(4)相对设置的两个边的最小间距为153mm-155mm。

10.根据权利要求3所述的通用载板，其特征在于，

所述主载板(1)上具有多个所述镂空区域(3)，每个所述镂空区域(3)的尺寸和形状相同；

所述副载板具有多个，每个所述副载板的所述搭接部(8)的宽度相同。