[实用新型]通用载板

说明书

本实用新型公开了一种通用载板，包括：主载板和副载板，其中，所述主载板具有多个镂空区域，每个所述镂空区域四周具有边框，在所述边框的内壁上形成承载托；所述副载板具有多个，每个所述副载板套设在一个所述镂空区域之中，每个所述副载板具有外框和内框，所述外框搭接在所述承载托上，所述内框用于承载硅片。本实用新型的通用载板，具有主载板和副载板，主载板具有固定的镂空区域以及边框，副载板的外框搭接在边框上，内框的尺寸则可以搭接不同规格的硅片，实现了多种尺寸硅片的同时加工制备。

技术领域

本实用新型涉及通用载板。

背景技术

光伏发电作为一种最具潜力的可再生能源利用方式，成为取代传统的石化能源，支持人类可持续发展的主要技术，在最近几年来获得了飞速的发展。目前晶体硅太阳能电池占据着光伏产业的主导地位，多晶硅太阳能电池由于成本优势占据了晶体硅的大半市场。

为了降低太阳能电池表面因反射损失的光能量，利用真空蒸发法、气相生长法或其他化学方法，在电池正面镀上单层或多层钝化膜，起到表面钝化和减反射的作用，用以提高电池的光电流和光电转换效率。

在晶体硅太阳能电池制造工艺中，等离子增强化学气相沉积(PECVD) 是一种普遍使用的用于制备电池表面减反射膜的一种方法。PECVD是借助微波使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，由于等离子化学活性强，易发生反应，在基片上沉积出固定成分的薄膜。

目前在晶硅行业所用镀膜方法主要分为板式和管式。即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电场的作用下在空间形成等离子体，分解SiH₄中的Si和H，以及NH₃中的N形成SiNx沉积到硅表面。每个石墨框的尺寸是固定的，只能针对一种尺寸的硅片镀膜。但是随着半片工艺组件和非标准尺寸电池的出现，市场对非标准尺寸的电池片的需求也在逐渐增加。如果市场要求发生变化，需要硅片切换尺寸，则必须更换对应尺寸的石墨载板。由于石墨载板的成本较高，且需要周期性清洗，因此，必须备有一套替换载板。

在光伏行业已经呈现微利化的今天，节约成本已经是一个重要课题，因此，降低行业备品备件使用成本也显得非常必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种通用载板，不仅可以适用于常规标准尺寸的晶硅片，也可以适用于非标准尺寸的晶硅片。

本实用新型的通用载板，包括：主载板和副载板，其中，所述主载板具有镂空区域，所述镂空区域四周具有边框，在所述边框朝向所述镂空区域的侧壁上形成承载托；所述副载板套设在所述镂空区域之中，所述副载板具有外框和内框，所述外框搭接在所述承载托上，所述内框用于承载硅片。

如上所述的通用载板，其中，所述内框由两条滑动内框和两条固定内框组成，两条所述固定内框彼此平行地相对设置，每条所述固定内框上设置有滑槽；每条所述滑动内框的两端，分别滑动地套设在一个所述滑槽内。

如上所述的通用载板，其中，所述外框位于所述内框上方，且所述外框具有搭接部，所述搭接部搭接在所述承载托上；所述滑动内框和所述固定内框上分别具有承载部，所述承载部承载所述硅片。

如上所述的通用载板，其中，所述固定内框上形成与所述滑槽导通的腰型孔，所述腰型孔的延伸方向与所述滑动内框的滑动方向相同；所述滑动内框与所述滑槽滑动配合的部分，具有盲孔；还包括固定钉，在所述滑动内框滑动到预定位置时，通过所述腰型孔和所述盲孔，固定所述滑动内框。

如上所述的通用载板，其中，所述腰型孔为锥形孔，靠近所述滑动内框一侧的孔径小于远离所述滑动内框一侧的孔径；所述固定钉具有与所述腰型孔匹配的锥形钉帽。

如上所述的通用载板，其中，所述承载部的宽度在1mm-7mm之间。