[实用新型]一种真空镀膜机的排气机构有效
申请号: | 201821021848.2 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN208414527U | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 俞强;施恩;沈琪;金学峰;周义飞 | 申请(专利权)人: | 爱发科商贸(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人: | 赵俊寅 |
地址: | 201101 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排气座 焊接 锥形齿轮 链轮 真空镀膜机 转动杆 啮合 本实用新型 电机 排气机构 转动安装 螺纹杆 支撑座 链条 对称焊接 链轮传动 排气腔 输出轴 排气 延伸 | ||
1.一种真空镀膜机的排气机构,包括排气座(1),其特征在于,所述排气座(1)上开设有排气腔(2),所述排气座(1)的底部对称焊接有支座(3),两个支座(3)中的一侧支座(3)的一侧固定安装有电机(4),所述电机(4)的输出轴上焊接有第一锥形齿轮(5),所述排气座(1)的底部焊接有支撑座(6),所述支撑座(6)上转动安装有转动杆(7),所述转动杆(7)靠近电机(4)的一端焊接有第二锥形齿轮(8),第二锥形齿轮(8)与第一锥形齿轮(5)相啮合,所述转动杆(7)的另一端焊接有第一链轮(9),第一链轮(9)上啮合有链条(10),所述排气座(1)的一侧转动安装有螺纹杆(11),螺纹杆(11)的一端延伸至排气座(1)外,并焊接有第二链轮(12),第二链轮(12)通过链条(10)与第一链轮(9)传动连接,所述螺纹杆(11)位于排气腔(2)内螺纹连接有螺纹块(13),螺纹块(13)滑动安装在排气腔(2)的底侧内壁上,螺纹块(13)的一侧焊接有推板(14)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的排气机构,其特征在于,所述排气座(1)的顶部开设有多个排气孔(15),多个排气孔(15)均与排气腔(2)相连通。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的排气机构,其特征在于,所述排气腔(2)的底侧内壁上焊接有滑轨(16),螺纹块(13)的底侧焊接有滑块(17),滑块(17)滑动安装在滑轨(16)上。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的排气机构,其特征在于,所述螺纹块(13)上开设有螺纹孔,螺纹孔(18)内设有内螺纹(19),螺纹杆(11)上设有外螺纹(20),内螺纹(19)与外螺纹(20)相适配。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的排气机构,其特征在于,所述排气座(1)的一侧开设有第一转动孔(21),螺纹杆(11)转动安装在第一转动孔(21)内,第一转动孔(21)内固定安装有第一轴承(22),第一轴承(22)套设在螺纹杆(11)上。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的排气机构,其特征在于,所述支撑座(6)上开设有第二转动孔(23),转动杆(7)转动安装在第二转动孔(23)内,第二转动孔(23)内固定安装有第二轴承(24),第二轴承(24)套设在转动杆(7)上。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的排气机构,其特征在于,所述推板(14)的两侧均固定安装有橡皮塞(25),两个橡皮塞(25)均与排气腔(2)密封配合。
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