[实用新型]一种真空镀膜机的排气机构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的排气机构，包括排气座，所述排气座上开设有排气腔，所述排气座的底部对称焊接有支座，两个支座中的一侧支座的一侧固定安装有电机，所述电机的输出轴上焊接有第一锥形齿轮，所述排气座的底部焊接有支撑座，所述支撑座上转动安装有转动杆，所述转动杆靠近电机的一端焊接有第二锥形齿轮，第二锥形齿轮与第一锥形齿轮相啮合，所述转动杆的另一端焊接有第一链轮，第一链轮上啮合有链条，所述排气座的一侧转动安装有螺纹杆，螺纹杆的一端延伸至排气座外，并焊接有第二链轮，第二链轮通过链条与第一链轮传动连接。本实用新型便于真空镀膜机本体排气，结构简单，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的排气机构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。

真空镀膜机在使用的时候需要进行排气，但是现有的真空镀膜机不便于排气，因此我们提出了一种真空镀膜机的排气机构用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜机的排气机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜机的排气机构，包括排气座，所述排气座上开设有排气腔，所述排气座的底部对称焊接有支座，两个支座中的一侧支座的一侧固定安装有电机，所述电机的输出轴上焊接有第一锥形齿轮，所述排气座的底部焊接有支撑座，所述支撑座上转动安装有转动杆，所述转动杆靠近电机的一端焊接有第二锥形齿轮，第二锥形齿轮与第一锥形齿轮相啮合，所述转动杆的另一端焊接有第一链轮，第一链轮上啮合有链条，所述排气座的一侧转动安装有螺纹杆，螺纹杆的一端延伸至排气座外，并焊接有第二链轮，第二链轮通过链条与第一链轮传动连接，所述螺纹杆位于排气腔内螺纹连接有螺纹块，螺纹块滑动安装在排气腔的底侧内壁上，螺纹块的一侧焊接有推板。

优选的，所述排气座的顶部开设有多个排气孔，多个排气孔均与排气腔相连通。

优选的，所述排气腔的底侧内壁上焊接有滑轨，螺纹块的底侧焊接有滑块，滑块滑动安装在滑轨上。

优选的，所述螺纹块上开设有螺纹孔，螺纹孔内设有内螺纹，螺纹杆上设有外螺纹，内螺纹与外螺纹相适配。

优选的，所述排气座的一侧开设有第一转动孔，螺纹杆转动安装在第一转动孔内，第一转动孔内固定安装有第一轴承，第一轴承套设在螺纹杆上。

优选的，所述支撑座上开设有第二转动孔，转动杆转动安装在第二转动孔内，第二转动孔内固定安装有第二轴承，第二轴承套设在转动杆上。

优选的，所述推板的两侧均固定安装有橡皮塞，两个橡皮塞均与排气腔密封配合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过电机、第一锥形齿轮、转动杆、第二锥形齿轮、第一链轮、链条、螺纹杆、第二链轮、螺纹块和推板的配合，电机的输出轴带动第一锥形齿轮转动，第一锥形齿轮带动第二锥形齿轮转动，第二锥形齿轮带动转动杆转动，转动杆带动第一链轮转动，第一链轮带动链条移动，链条带动第二链轮转动，第二链轮带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹块移动，螺纹块带动推板在排气腔内移动。

本实用新型便于真空镀膜机本体排气，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机的排气机构的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜机的排气机构的A部分结构示意图；