[实用新型]一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵

权利要求书

1.一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，包括真空镀膜机（1）、移动板（2）和低温泵本体（3），其特征在于，所述低温泵本体（3）的底部固定安装有固定板（4），移动板（2）的顶部固定安装有支撑柱（5），两个支撑柱（5）的顶部均开设有第一滑槽（6），两个第一滑槽（6）的底部内壁上均固定安装有第一压缩弹簧（7），两个第一压缩弹簧（7）的顶端均固定安装有移动柱（8），两个移动柱（8）的顶端分别延伸至两个第一滑槽（6）的外侧并固定安装在固定板（4）上，所述第一滑槽（6）的两侧内壁上均开设有第三滑槽（20），第三滑槽（20）的一侧内壁上开设有多个固定槽（13），所述移动柱（8）的两侧均固定安装有第一滑块（9），第一滑块（9）滑动安装在第三滑槽（20）内，第一滑块（9）的一侧开设有限位槽（10），限位槽（10）内滑动安装有限位杆（11），限位杆（11）的一端延伸至限位槽（10）的外侧并与固定槽（13）相适配，限位杆（11）的另一端固定安装有第二压缩弹簧（12）的一端，第二压缩弹簧（12）的另一端固定安装在限位槽（10）的内壁上，所述固定槽（13）的一侧内壁上开设有滑孔（14），滑孔（14）内滑动安装有滑杆（15），滑杆（15）的一端延伸至固定槽（13）内并与限位杆（11）相适配，滑杆（15）的另一端延伸至支撑柱（5）的外侧并固定安装有按压板（16）。

2.根据权利要求1所述的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，其特征在于，所述固定板（4）的一侧固定安装有拉杆（23），拉杆（23）上固定安装有防滑垫（24）。

3.根据权利要求1所述的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，其特征在于，所述移动板（2）的底部安装有四个与地面接触的万向脚轮（22），移动板（2）的一侧固定安装有推杆（21）。

4.根据权利要求1所述的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，其特征在于，所述滑孔（14）的两侧内壁上均开设有第二滑槽（17），滑杆（15）的两侧均固定安装有第二滑块（18），第二滑块（18）滑动安装在第二滑槽（17）内。

5.根据权利要求4所述的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，其特征在于，所述第二滑槽（17）的一侧内壁上固定安装有第三压缩弹簧（19）的一端，第三压缩弹簧（19）的另一端固定安装在第二滑块（18）上。

6.根据权利要求1所述的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，其特征在于，所述第三滑槽（20）的两侧内壁上均开设有滑动槽（26），第一滑块（9）的两侧均固定安装有滑动块（25），滑动块（25）滑动安装在滑动槽（26）内。