[实用新型]一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵

说明书

本实用新型公开了一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，包括真空镀膜机、移动板和低温泵本体，所述低温泵本体的底部固定安装有固定板，移动板的顶部固定安装有支撑柱，两个支撑柱的顶部均开设有第一滑槽，两个第一滑槽的底部内壁上均固定安装有第一压缩弹簧，两个第一压缩弹簧的顶端均固定安装有移动柱，两个移动柱的顶端分别延伸至两个第一滑槽的外侧并固定安装在固定板上，所述第一滑槽的两侧内壁上均开设有第三滑槽，第三滑槽的一侧内壁上开设有多个固定槽。本实用新型结构简单，操作方便，通过压动按压板即可调整低温泵本体的高度，方便使用，大大满足了使用者的需求。

技术领域

本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其涉及一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵，低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

申请号为：CN201720873664.8公开了一种低热辐射真空镀膜机，其包括镀膜箱等，加热器位于镀膜箱的顶端内壁上，镀膜箱与主阀的一侧之间通过百叶窗连接，主阀的底端与冷凝泵相连接，气缸与基板之间通过连杆连接，水冷挡板位于百叶窗的侧面上，排气口位于百叶窗的底端上，真空泵与吸盘连接，侧盖位于主阀的另一侧上，管道与冷凝泵的底端连接，管道位于框架上。本实用新型通过设置水冷挡板，有效屏蔽了对冷凝泵的热辐射，确保冷凝泵的正常运作，保障抽真空效率，然而该发明中的低温泵仅仅通过支架下方设置的脚轮进行移动，并不能对低温泵的高度作出调整，使得当低温泵使用在不同高度的真空镀膜机上时，不方便调整高度，影响低温泵的使用，为此我们提出一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，以此来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，包括真空镀膜机、移动板和低温泵本体，所述低温泵本体的底部固定安装有固定板，移动板的顶部固定安装有支撑柱，两个支撑柱的顶部均开设有第一滑槽，两个第一滑槽的底部内壁上均固定安装有第一压缩弹簧，两个第一压缩弹簧的顶端均固定安装有移动柱，两个移动柱的顶端分别延伸至两个第一滑槽的外侧并固定安装在固定板上，所述第一滑槽的两侧内壁上均开设有第三滑槽，第三滑槽的一侧内壁上开设有多个固定槽，所述移动柱的两侧均固定安装有第一滑块，第一滑块滑动安装在第三滑槽内，第一滑块的一侧开设有限位槽，限位槽内滑动安装有限位杆，限位杆的一端延伸至限位槽的外侧并与固定槽相适配，限位杆的另一端固定安装有第二压缩弹簧的一端，第二压缩弹簧的另一端固定安装在限位槽的内壁上，所述固定槽的一侧内壁上开设有滑孔，滑孔内滑动安装有滑杆，滑杆的一端延伸至固定槽内并与限位杆相适配，滑杆的另一端延伸至支撑柱的外侧并固定安装有按压板。

优选的，所述固定板的一侧固定安装有拉杆，拉杆上固定安装有防滑垫。

优选的，所述移动板的底部安装有四个与地面接触的万向脚轮，移动板的一侧固定安装有推杆。

优选的，所述滑孔的两侧内壁上均开设有第二滑槽，滑杆的两侧均固定安装有第二滑块，第二滑块滑动安装在第二滑槽内。

优选的，所述第二滑槽的一侧内壁上固定安装有第三压缩弹簧的一端，第三压缩弹簧的另一端固定安装在第二滑块上。

优选的，所述第三滑槽的两侧内壁上均开设有滑动槽，第一滑块的两侧均固定安装有滑动块，滑动块滑动安装在滑动槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：