[实用新型]一种高产能的管式炉上下料系统

权利要求书

1.一种高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，包括上料装置、下料装置、机械手；所述上料装置、下料装置均包括一导片花篮装置、一缓存花篮装置、若干中转花篮装置、一传送带装置；所述上料装置或下料装置中的导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置分布在第一方向一条直线上；所述传送带装置用于将硅片在导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置之间传送，且传送带装置的一端可从中转花篮装置的第一侧伸缩进出其内部；所述机械手用于从上料装置或下料装置的中转花篮装置第一侧的相对一侧插入，一次性将若干中转花篮装置中的硅片取出上料或将硅片放入若干中转花篮装置内下料。

2.根据权利要求1所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述中转花篮装置包括中转花篮、第一驱动机构；所述中转花篮在竖直方向上间隔设有若干花篮齿，形成若干放置硅片的水平承载槽；所述第一驱动机构安装于中转花篮顶部，用于驱动中转花篮升降以使中转花篮内的硅片适应传送带装置的高度。

3.根据权利要求2所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述中转花篮装置还包括卡角定位机构；所述卡角定位机构包括四卡角杆、四卡角驱动机构；所述卡角杆的横截面呈L型构造，四卡角杆分别布置于中转花篮的四个边角，卡角杆从中转花篮的顶部至底部方向布置；每一卡角驱动机构用于驱动一卡角杆靠近或远离中转花篮内硅片的边角以纠正硅片的位置。

4.根据权利要求3所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述中转花篮装置还包括两探测器，分别设于中转花篮的进料及出料两侧，用于检测硅片的到位状况。

5.根据权利要求4所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述中转花篮装置设置为两个,分别为第一中转花篮装置、第二中转花篮装置，其中第一中转花篮装置靠近缓存花篮装置布置；所述第一中转花篮装置与第二中转花篮装置靠紧对齐布置。

6.根据权利要求2所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述机械手包括机械臂驱动机构、机械臂、若干扁平吸盘；所述机械臂驱动机构用于驱动机械臂带动扁平吸盘运动；所述扁平吸盘的数量与中转花篮的水平承载槽数量一致，若干扁平吸盘平行布置，且吸嘴方向一致。

7.根据权利要求2所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述传送带装置包括传送带、伸缩驱动机构、至少两纠偏机构；所述传送带沿第一方向运动，伸缩驱动机构用于驱动传送带一端进出中转花篮内部；所述纠偏机构设于中转花篮装置与缓存花篮装置之间的传送带两侧。

8.根据权利要求7所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述纠偏机构包括纠偏皮带、纠偏旋转柱、纠偏驱动电机；所述纠偏旋转柱用于张紧及导向纠偏皮带，纠偏驱动电机用于驱动纠偏皮带沿纠偏旋转柱的导向方向运动，且其运动速度与传送带的运动速度一致。

9.根据权利要求7所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述导片花篮装置包括第二驱动机构、导片花篮；所述导片花篮在竖直方向上间隔设有若干花篮齿，形成若干放置硅片的水平承载槽；所述传送带的另一端置于导片花篮内，第二驱动机构用于驱动导片花篮升降以使导片花篮内的硅片适应传送带的高度。

10.根据权利要求7所述的高产能的管式炉上下料系统，其特征在于，所述缓存花篮装置包括第三驱动机构、缓存花篮；所述缓存花篮在竖直方向上间隔设有若干花篮齿，形成若干放置硅片的水平承载槽；所述传送带穿过缓存花篮布置，第三驱动机构用于驱动缓存花篮升降以使缓存花篮内的硅片适应传送带的高度。