[实用新型]一种高产能的管式炉上下料系统

说明书

本实用新型公开一种高产能的管式炉上下料系统，包括上料装置、下料装置、机械手；所述传送带装置用于将硅片在导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置之间传送，且传送带装置的一端可从中转花篮装置的第一侧伸缩进出其内部；所述机械手用于从上料装置或下料装置的中转花篮装置第一侧的相对一侧插入，一次性将若干中转花篮装置中的硅片取出上料或将硅片放入若干中转花篮装置内下料。本实用新型相比单片上料，该系统结构简单、效率高、成本低、占用空间小，更适合高产能炉管型设备使用。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池或半导体制造技术领域，尤其涉及一种高产能的管式炉上下料系统。

背景技术

管式炉用于半导体行业和光伏行业的扩散、镀膜工艺。目前卧式管式炉的上料方式发展很快，效率高，产能高；立式管式炉，由于上下料方式发展相对缓慢而相对落后。但立式管式炉相对于卧式管式炉有厂房面积占用小、碎片率极低、绕镀小、无卡槽印等优点。在硅片越来越薄，电池效率要求越来越高的趋势下，立式管式炉的市场越来越大。

相对于卧式管式炉而言，目前立式管式炉的产能一般，其中上下料系统的工作效率不高是其主要原因。大部分上下料装置由一个机械手一片一片抓取硅片放入炉管或从炉管内取出。这种上下料装置能实现功能，但相对的成本高，产能效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高产能的管式炉上下料系统，相比单片上料，该系统结构简单、效率高、成本低、占用空间小，更适合高产能炉管型设备使用。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种高产能的管式炉上下料系统，包括上料装置、下料装置、机械手；所述上料装置、下料装置均包括一导片花篮装置、一缓存花篮装置、若干中转花篮装置、一传送带装置；所述上料装置或下料装置中的导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置分布在第一方向一条直线上；所述传送带装置用于将硅片在导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置之间传送，且传送带装置的一端可从中转花篮装置的第一侧伸缩进出其内部；所述机械手用于从上料装置或下料装置的中转花篮装置第一侧的相对一侧插入，一次性将若干中转花篮装置中的硅片取出上料或将硅片放入若干中转花篮装置内下料。

较佳地，所述中转花篮装置包括中转花篮、第一驱动机构；所述中转花篮在竖直方向上间隔设有若干花篮齿，形成若干放置硅片的水平承载槽；所述第一驱动机构安装于中转花篮顶部，用于驱动中转花篮升降以使中转花篮内的硅片适应传送带装置的高度。

较佳地，所述中转花篮装置还包括卡角定位机构；所述卡角定位机构包括四卡角杆、四卡角驱动机构；所述卡角杆的横截面呈L型构造，四卡角杆分别布置于中转花篮的四个边角，卡角杆从中转花篮的顶部至底部方向布置；每一卡角驱动机构用于驱动一卡角杆靠近或远离中转花篮内硅片的边角以纠正硅片的位置。

较佳地，所述中转花篮装置还包括两探测器，分别设于中转花篮的进料及出料两侧，用于检测硅片的到位状况。

较佳地，所述中转花篮装置设置为两个,分别为第一中转花篮装置、第二中转花篮装置，其中第一中转花篮装置靠近缓存花篮装置布置；所述第一中转花篮装置与第二中转花篮装置靠紧对齐布置。

较佳地，所述机械手包括机械臂驱动机构、机械臂、若干扁平吸盘；所述机械臂驱动机构用于驱动机械臂带动扁平吸盘运动；所述扁平吸盘的数量与中转花篮的水平承载槽数量一致，若干扁平吸盘平行布置，且吸嘴方向一致。

较佳地，所述传送带装置包括传送带、伸缩驱动机构、至少两纠偏机构；所述传送带沿第一方向运动，伸缩驱动机构用于驱动传送带一端进出中转花篮内部；所述纠偏机构设于中转花篮装置与缓存花篮装置之间的传送带两侧。

较佳地，所述纠偏机构包括纠偏皮带、纠偏旋转柱、纠偏驱动电机；所述纠偏旋转柱用于张紧及导向纠偏皮带，纠偏驱动电机用于驱动纠偏皮带沿纠偏旋转柱的导向方向运动，且其运动速度与传送带的运动速度一致。