[实用新型]一种靶材背板结构有效
| 申请号： | 201821044039.3 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN208733208U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孙伟华 | 申请（专利权）人： | 江苏迪丞光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 梁永昌 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 散热铝材 冷媒 承接板 靶材背板 背板结构 冷媒板 冷媒管 底板 本实用新型 冷媒出口 冷媒入口 蛇形弯曲 组件包括 组件固定 副侧板 主侧板 传递 对靶 铝片 吸收 支撑 交换 | ||
1.一种靶材背板结构，其结构包括背板结构(1)、承接板(3)、散热铝材(5)和冷媒组件(10)，其特征在于：所述背板结构(1)上设有承接板(3)，所述承接板(3)的下方设有散热铝材(5)，所述散热铝材(5)的下方设有冷媒组件(10)，所述承接板(3)通过散热铝材(5)与冷媒组件(10)固定连接；
所述冷媒组件(10)包括冷媒板(12)、冷媒管(13)、冷媒入口(14)、冷媒出口(15)，所述冷媒组件(10)上设有冷媒板(12)，所述冷媒板(12)的表面设有冷媒管(13)，所述冷媒管(13)通过冷媒板(12)与冷媒组件(10)固定连接，所述冷媒管(13)的两端分别固定设有冷媒入口(14)、冷媒出口(15)。
2.根据权利要求1所述的一种靶材背板结构，其特征在于：所述散热铝材(5)的下方设有底板(6)，所述底板(6)的表面设有主侧板(7)，所述主侧板(7)的侧面设有副侧板(8)，所述主侧板(7)、副侧板(8)通过底板(6)与冷媒组件(10)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种靶材背板结构，其特征在于：所述主侧板(7)、副侧板(8)的内侧设有铝片组(9)，所述铝片组(9)通过冷媒组件(10)与主侧板(7)、副侧板(8)接触连接。
4.根据权利要求1所述的一种靶材背板结构，其特征在于：所述冷媒板(12)的表面设有连接帽(16)，所述连接帽(16)的下方设有连接柱(17)，所述连接柱(17)通过连接帽(16)与冷媒板(12)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种靶材背板结构，其特征在于：所述承接板(3)的表面设有承接槽(4)，所述承接槽(4)通过承接板(3)与散热铝材(5)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种靶材背板结构，其特征在于：所述冷媒组件(10)的表面设有连接孔(11)，所述冷媒板(12)通过连接柱(17)与冷媒组件(10)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种靶材背板结构，其特征在于：所述背板结构(1)的表面固定设有固定孔(2)。
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