[实用新型]一种靶材背板结构

说明书

本实用新型公开了一种靶材背板结构，其结构包括背板结构、承接板、散热铝材和冷媒组件，所述背板结构上设有承接板，所述承接板的下方设有散热铝材，所述散热铝材的下方设有冷媒组件，所述承接板通过散热铝材与冷媒组件固定连接，所述冷媒组件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，该一种靶材背板结构，可通过在承接板的下方设置一组散热铝材，再借由底板上的主侧板、副侧板支撑之后，内部的铝片组会与承接板进行接触，对靶材表面产生的温度进行传递，可通过在散热铝材的下方设置一个冷媒组件，冷媒组件在上方冷媒板的表面上设置蛇形弯曲的冷媒管，可对冷媒进行传递，便于对上方散热铝材吸收的热量进行交换，结构简单，易于实现。

技术领域

本实用新型涉及靶材背板技术领域，具体为一种靶材背板结构。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，而靶材背板是配合靶材进行安装的一种基材。

目前，现有的靶材背板可配合靶材进行使用，但是在实际使用中，传统具有冷却水道的靶材背板主要是采用无氧铜材质加工形成具有冷却水道的基板，然后以无氧铜材质的上盖板覆盖基板，接着再对基板与上盖板的接缝进行密封焊接，借着无氧铜材质能快速吸收热量的优点，传统靶材背板可迅速将靶材于镀膜制程中所产生的高温热量带走，然而由于无氧铜材质的密度较大且强度不佳，因此造成靶材背板需具备足够的厚度以增加强度，进而使得传统靶材背板的重量亦相对较重，并造成材料成本增加且焊接困难等问题，其次在对于高温的处理上，只是以转移为主，缺少有效的消散方式，使得散热效果大打折扣，然后冷却水道的设置在使用中也会出现泄漏的情况，这些都是实际存在而又急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材背板结构，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材背板结构，其结构包括背板结构、承接板、散热铝材和冷媒组件，所述背板结构上设有承接板，所述承接板的下方设有散热铝材，所述散热铝材的下方设有冷媒组件，所述承接板通过散热铝材与冷媒组件固定连接，所述冷媒组件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，所述冷媒组件上设有冷媒板，所述冷媒板的表面设有冷媒管，所述冷媒管通过冷媒板与冷媒组件固定连接，所述冷媒管的两端分别固定设有冷媒入口、冷媒出口。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述散热铝材的下方设有底板，所述底板的表面设有主侧板，所述主侧板的侧面设有副侧板，所述主侧板、副侧板通过底板与冷媒组件固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述主侧板、副侧板的内侧设有铝片组，所述铝片组通过冷媒组件与主侧板、副侧板接触连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述冷媒板的表面设有连接帽，所述连接帽的下方设有连接柱，所述连接柱通过连接帽与冷媒板固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述承接板的表面设有承接槽，所述承接槽通过承接板与散热铝材固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述冷媒组件的表面设有连接孔，所述冷媒板通过连接柱与冷媒组件固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述背板结构的表面固定设有固定孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：