[实用新型]一种晶片装载系统

说明书

本实用新型涉及太阳能薄膜加工技术领域，尤其涉及一种晶片装载系统，进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上，第一搬运装置用于将空栏具由料盘栏具分离工位移至空栏具工位，第二搬运装置用于将栏具中装有晶片的料盘由料盘栏具分离工位移至料盘工位，再将空料盘由料盘工位移至空料盘工位，并将空料盘由空料盘工位移至空栏具工位上的空栏具中，第三搬运装置用于将料盘中的晶片由料盘工位移至装载花篮工位的花篮内，出栏具输送装置用于将装有空料盘的栏具由空栏具工位输送至出栏具工位并移出。提高了设备的可靠性和稳定性，实现从栏具进入到流出的全自动化，传输效率和精度高。

技术领域

本实用新型涉及太阳能薄膜加工技术领域，尤其涉及一种晶片装载系统。

背景技术

大产能是目前太阳能wafer产品线的一个非常重要的指标。但由于太阳能薄膜wafer(晶圆)的特殊构造，即wafer的基底(substrate)比生在其上的薄膜(film)要小，薄膜(film)为柔性不可弯曲，大大限制了太阳能薄膜产品线的装载速度，进而影响到产品线的产能提升。

目前，现有的入料方式为coin stack(硬币堆栈)+单臂机械手，该方式存在以下问题：1、coin stack即将太阳能薄膜层层堆叠在一起，会导致粘连，且难以发现和消除，会影响设备的稳定性和可靠性。2、单臂机械手即每次输入一片wafer，限制了产能的提升。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是解决现有的晶片装载系统容易造成晶片薄膜堆叠黏连，且装载过程可靠性和稳定性差，生产效率较低的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶片装载系统，栏具输送模块、料盘搬运模块和晶片搬运模块，所述栏具输送模块包括进栏具输送装置、出栏具输送装置和第一搬运装置，所述料盘搬运模块包括第二搬运装置，所述晶片搬运模块包括第三搬运装置，所述进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上，所述第一搬运装置用于将空栏具由所述料盘栏具分离工位移至空栏具工位，所述第二搬运装置用于将栏具中装有晶片的料盘由所述料盘栏具分离工位移至料盘工位，再将空料盘由所述料盘工位移至空料盘工位，并将空料盘由所述空料盘工位移至所述空栏具工位上的空栏具中，所述第三搬运装置用于将料盘中的晶片由所述料盘工位移至装载花篮工位的花篮内，所述出栏具输送装置用于将装有空料盘的栏具由所述空栏具工位输送至出栏具工位并移出。

其中，所述料盘搬运模块还包括升降装置，所述升降装置设置于所述料盘栏具分离工位上，用于将装有料盘的栏具升起和降下，以供所述第二搬运装置进入栏具的底部并使料盘落在所述第二搬运装置上。

其中，所述晶片搬运模块还包括校准装置，所述校准装置位于所述料盘工位和所述装载花篮工位之间的校准工位上，用于对移至所述花篮前的晶片进行校准。

其中，所述第三搬运装置包括伺服电机、导轨、滑块和机械手，所述导轨沿所述料盘工位至所述装载花篮工位方向设置，所述滑块设置于所述导轨上，所述机械手与所述滑块连接，所述机械手用于抓取移送晶片，所述伺服电机驱动所述滑块沿所述导轨移动。