[实用新型]一种有机负胶显影液的制备装置有效
申请号: | 201821067365.6 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN208636651U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 戈士勇 | 申请(专利权)人: | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 郭超 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影液 强酸性阳离子交换树脂柱 混合罐 活性炭柱 制备装置 储罐 负胶 过滤 离子交换树脂柱 过滤器 本实用新型 成品过滤器 第二过滤器 第一过滤器 顺次连接 物理吸附 显影效果 依次连接 有机溶剂 杂质离子 再生使用 装置制备 成品罐 环戊酮 树脂柱 除杂 进口 出口 生产 | ||
1.一种有机负胶显影液的制备装置,包括环戊酮储罐、有机溶剂储罐、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、混合罐和成品罐;所述环戊酮储罐出口与第一过滤器进口相连后再与混合罐进口相连;所述有机溶剂储罐出口与第二过滤器进口相连后再与混合罐进口相连,所述混合罐出口与第三过滤器进口相连后再与成品罐进口相连,其特征在于,所述制备装置还包括第一强酸性阳离子交换树脂柱、第二强酸性阳离子交换树脂柱和活性炭柱,所述第一强酸性阳离子交换树脂柱设置于第一过滤器出口和混合罐进口之间的管路上,所述第二强酸性阳离子交换树脂柱设置于第二过滤器出口和混合罐进口之间的管路上,所述活性炭柱设置于混合罐出口和第三过滤器进口之间的管路上,所述混合罐上还设有铝保护剂进料口,且混合罐出口与活性炭柱进口的连接管道上还设置有调节阀。
2.根据权利要求1所述的有机负胶显影液的制备装置,其特征在于,所述混合罐的外壁设有竖直的透明的液位管。
3.根据权利要求2所述的有机负胶显影液的制备装置,其特征在于,所述第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器均为微孔滤膜过滤器,其中所述微孔滤膜的孔径为0.05-0.15μm。
4.根据权利要求3所述的有机负胶显影液的制备装置,其特征在于,所述混合罐内设有搅拌器,所述搅拌器为转速调节式螺带搅拌器。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的有机负胶显影液的制备装置,其特征在于,所述混合罐和成品罐内壁均为不锈钢内壁层。
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