[实用新型]一种有机负胶显影液的制备装置

说明书

本实用新型公开了一种有机负胶显影液的制备装置，包括依次连接的环戊酮储罐、第一过滤器、第一强酸性阳离子交换树脂柱、混合罐、调节阀、活性炭柱、第三过滤器和成品罐，所述混合罐上设有顺次连接的有机溶剂储罐、第二过滤器和第二强酸性阳离子交换树脂柱，所述第二强酸性阳离子交换树脂柱的出口与混合罐进口相连。本装置制备的显影液的原料经过过滤后除去部分杂质，再通过树脂柱除去原料中的杂质离子，然后进行各组分的混合，使原料中杂质更少，减轻了全部混合完成后产品过滤的压力，成品过滤器前又设置活性炭柱进行物理吸附除杂生产的显影液，杂质更少，纯度更高，显影效果更好，同时离子交换树脂柱还可以反复再生使用，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及显影液制备装置技术领域，具体涉及一种有机负胶显影液的制备装置。

背景技术

在平板显示领域中，包括等离子体显示(PDP)、液晶显示(LCD)及有机电致发光(OLED)等制备工艺过程中，为获得所需要的各种精细图像，需要利用光刻胶(PhotoResistor)涂布在基板上形成薄膜之后以光罩遮挡并进行曝光，再以显影液显像，除去未曝光的部分，以此获得所需要的图像。

光刻胶分正胶和负胶。

正胶：曝光区在显影后溶化，非曝光区留下。

负胶：曝光区在显影后留下，非曝光区在显影液中溶解。

负胶为包含聚乙烯肉桂衍生物或环化橡胶衍生物双键的聚合物。典型的负胶是叠氮感光胶，如环化聚异戊二烯。在负胶曝光时，产生大量的交联聚合，成为互相连接的大树脂分子，很难在显影液中溶解，从而负胶的曝光部分在显影后保留，而未曝光部分则在显影时去除。现有负胶显影液的常见问题有：

a、显影不完全，表面还残留有光刻胶。

b、显影不够，显影的侧壁不垂直。

c、过度显影，靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解，形成台阶。

d、显影稳定性差，产品质量不稳定。

e、金属铝基板易被腐蚀，从而降低产品成品率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种杂质更少，纯度更高，显影更稳定更完全，同时可避免金属铝基板被腐蚀的有机负胶显影液的制备装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计包括环戊酮储罐、有机溶剂储罐、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、混合罐和成品罐；所述环戊酮储罐出口与第一过滤器进口相连后再与混合罐进口相连；所述有机溶剂储罐出口与第二过滤器进口相连后再与混合罐进口相连，所述混合罐出口与第三过滤器进口相连后再与成品罐进口相连，所述制备装置还包括第一强酸性阳离子交换树脂柱、第二强酸性阳离子交换树脂柱和活性炭柱，所述第一强酸性阳离子交换树脂柱设置于第一过滤器出口和混合罐进口之间的管路上，所述第二强酸性阳离子交换树脂柱设置于第二过滤器出口和混合罐进口之间的管路上，所述活性炭柱设置于混合罐出口和第三过滤器进口之间的管路上，所述混合罐上还设有铝保护剂进料口，且混合罐出口与活性炭柱进口的连接管道上还设置有调节阀。

为了对混合罐内预留一定的空间，保证混合罐的安全，优选的技术方案为，所述混合罐的外壁设有竖直的透明的液位管。液位管可以随时监测混合罐内的显影液的液面高度，从而控制混合罐内进料和出料的速度，保证了设备的安全。

优选的技术方案为，所述第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和第四过滤器均为微孔滤膜过滤器，其中所述微孔滤膜的孔径为0.05-0.15μm。

优选的技术方案为，所述混合罐内设有搅拌器，所述搅拌器为转速调节式螺带搅拌器。混合罐内均设有螺带搅拌器，且搅拌器为转速可调节的，具有粘性的各组份混合进入混合罐时，采用螺带式搅拌杆，并根据混合罐内混合物的形状，选择不同的搅拌速度，使各组分混合更均匀。