[实用新型]改善SINA边缘发红的机台结构有效

申请号：	201821070297.9	申请日：	2018-07-06
公开（公告）号：	CN208577780U	公开（公告）日：	2019-03-05
发明（设计）人：	王圣;徐硕贤;金佳源;宋剑;董超;袁占强;陈景;张双玉	申请（专利权）人：	江苏林洋光伏科技有限公司
主分类号：	C23C16/34	分类号：	C23C16/34;C23C16/455;C23C16/458
代理公司：	南京天华专利代理有限责任公司 32218	代理人：	刘畅;夏平
地址：	226200 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	发红石墨框机台结构反应仓本实用新型氮化硅沉积直径扩大垫片敷板
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【权利要求书】：

1.一种改善SINA边缘发红的机台结构，包括石墨框(1)和反应仓，其特征在于：在边列石墨框(1)与石墨框勾点(2)之间设置两个垫片(3)；在反应仓内部的U型槽敷板(6)上所设置的NH3气孔(7)直径扩大为1.0mm。

2.根据权利要求1所述的改善SINA边缘发红的机台结构，其特征在于：每个垫片(3)的厚度为0.9mm。

3.根据权利要求1所述的改善SINA边缘发红的机台结构，其特征在于：U型槽敷板(6)的两侧各设置有3个NH3气孔(7)。

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