[实用新型]一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备

权利要求书

1.一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备，包括抽气装置(1)，其特征在于，所述抽气装置(1)的下方设有槽体(2)，所述槽体(2)包括第一槽体(3)和第二槽体(4)，所述抽气装置(1)设置在第一槽体(3)和第二槽体(4)的上壁之间，所述抽气装置(1)包括抽气主体(5)和进风罩(6)，所述进风罩(6)的内侧设有十块叶片(7)，所述叶片(7)通过转轴(8)转动连接在进风罩(6)的两侧内壁上，所述叶片(7)固定安装在转轴(8)上，所述叶片(7)的一端设有条形通槽(9)，所述叶片(7)一端端部之间设有圆球(10)，所述圆球(10)之间通过弹力绳(11)进行连接，所述弹力绳(11)穿过条形通槽(9)连接在相邻圆球(10)的表面，所述弹力绳(11)的两端分别连接在进风罩(6)的内壁两侧，所述进风罩(6)穿过槽体(2)上壁并延伸至槽体(2)内部，所述抽气装置(1)的抽气主体外侧设有固定板(12)，所述固定板(12)设置在抽气主体(5)与槽体(3)上表面交接处，所述固定板(12)的两侧通过螺栓分别固定安装在抽气主体(5)和槽体(3)上表面，所述抽气主体(5)上端设有排气管(13)，所述槽体(3)下方设有传动机构(14)，所述传动机构(14)上侧放置有加工元件(15)。

2.根据权利要求1所述的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备,其特征在于，所述固定板的下方设有密封垫(16)。

3.根据权利要求1所述的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备,其特征在于，中间位置的所述圆球(10)的上侧设有螺杆(17)，所述螺杆(17)的下端设有限位块(18)，中间位置的所述圆球(10)的内侧设有限位槽(19)，所述限位块(18)转动连接在限位槽(19)内，所述螺杆(17)的上端穿过进风罩(6)上壁和固定板(12)并延伸至固定板(12)上方且固定连接有把柄(20)，所述螺杆(17)的外侧螺接有螺母(21)，所述螺母(21)固定连接在固定板(12)的上表面处。

4.根据权利要求1所述的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备,其特征在于，所述圆球(10)的直径等于相邻竖直叶片(7)的内侧面之间的距离。