[实用新型]单晶硅切片机砂浆引流装置有效
申请号: | 201821081244.7 | 申请日: | 2018-07-09 |
公开(公告)号: | CN208468771U | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 赵延祥 | 申请(专利权)人: | 宁夏银和半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B24B27/06;B24B57/02;B28D5/04 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 引流面 砂浆 引流槽 单晶硅 晶棒切割 引流装置 引流 切片机 飞溅 生产设备 首尾连接 体形空腔 工作台 晶体硅 硅片 槽体 硅面 线面 遮挡 流淌 损伤 伤害 加工 | ||
1.一种单晶硅切片机砂浆引流装置,其特征在于:引流装置包括两个结构相同的引流槽,两个引流槽水平延伸设置在工作台的两侧,与晶棒两侧的砂浆罐道配合设置,在晶棒切割时对砂浆起到引流作用,引流槽包括第一引流面、第二引流面、第三引流面和第四引流面,第一引流面、第二引流面、第三引流面和第四引流面依次首尾连接,围成方体形空腔,第一引流面和第三引流面的大小相同,且上下正对设置,第二引流面与第四引流面左右正对设置,且第四引流面的高度小于第二引流面的高度,以使第四引流面与第一引流面之间形成缺口,且引流槽的前后端面开口,在晶棒切割时,砂浆自第四引流面的缺口进入至引流槽内,再经引流槽的前后端口将砂浆引流出。
2.如权利要求1所述的单晶硅切片机砂浆引流装置,其特征在于:所述第四引流面的高度为第二引流面高度的一半,以使砂浆从第四引流面的缺口流入至砂浆槽内,再经砂浆槽导流出。
3.如权利要求1所述的单晶硅切片机砂浆引流装置,其特征在于:在第一引流面的上端面上设置有两个螺纹孔,以与工作台拧紧固定。
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