[实用新型]一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置有效
申请号: | 201821086558.6 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN208753271U | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底板 夹腔 隔板 侧板 空气压缩机构 本实用新型 太阳能电池 辅助装置 晶体硅 通孔 连通 清洗 方向分层 高压空气 间距布置 清洗效果 输气管路 相对布置 镂空结构 卡槽 上板 | ||
1.一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,其特征在于,包括:框架和空气压缩机构(1),其中:
框架包括底板(2)和相对布置在底板(2)两侧并与底板(2)固定连接的第一侧板(3)、第二侧板(4);
底板(2)为镂空结构,底板(2)设有多个,各底板(2)在第一侧板(3)和第二侧板(4)之间沿其高度方向分层布置,且每一层底板(2)的上板面上均设有多个与其固定装配的隔板(5);各隔板(5)由第一侧板(3)向第二侧板(4)方向间距布置并在任意相邻的两个隔板(5)之间形成供工件放入的卡槽,各隔板(5)的内部均具有第一夹腔(a)和位于第一夹腔(a)靠近第二侧板(4)一侧的第二夹腔(b),且任意一个隔板(5)上均设有与第一夹腔(a)连通的第一进气口和与第二夹腔(b)连通的第二进气口,任意一个隔板(5)靠近第一侧板(3)的一侧均设有至少一个与其第一夹腔(a)连通的第一通孔(c),任意一个隔板(5)靠近第二侧板(4)的一侧均设有至少一个与其第二夹腔(b)连通的第二通孔(d);
空气压缩机构(1)通过输气管路分别与各隔板(5)上的第一进气口和第二进气口连接以用于向各第一夹腔(a)、第二夹腔(b)内输送高压空气。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,其特征在于,第一侧板(3)内部设有输气通道;输气管路包括主管(6)和支管(7),所述主管(6)的一端与空气压缩机构(1)连接,其另一端与所述输气通道连接;所述支管(7)位于各隔板(5)的一侧并由第一侧板(3)向第二侧板(4)方向直线延伸,且支管(7)与所述输气通道连接;所述各隔板(5)的第一进气口、第二进气口均分别与支管(7)连接。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,其特征在于,第二侧板(4)内部设有输气通道;输气管路包括主管(6)和支管(7),所述主管(6)的一端与空气压缩机构(1)连接,其另一端与所述输气通道连接;所述支管(7)位于各隔板(5)的一侧并由第一侧板(3)向第二侧板(4)方向直线延伸,且支管(7)与所述输气通道连接;所述各隔板(5)的第一进气口、第二进气口均分别与支管(7)连接。
4.根据权利要求2或3所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,其特征在于,任意一个第一进气口、第二进气口与支管(7)之间均设有可自动控制其开合度的控制阀。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,其特征在于,卡槽的两端均设有与底板(2)固定的挡板(8),且挡板(8)为镂空结构。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,其特征在于,卡槽内部设有多个与底板(2)固定的挡板(8),各挡板(8)均为镂空结构,且各挡板(8)在卡槽内部由其一端向其另一端间距布置以将卡槽分隔成多个槽腔。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,其特征在于,各隔板(5)靠近第一侧板(3)的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第一通孔(c),各隔板(5)靠近第二侧板(4)的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第二通孔(d)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造