[实用新型]一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置有效
申请号: | 201821086558.6 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN208753271U | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底板 夹腔 隔板 侧板 空气压缩机构 本实用新型 太阳能电池 辅助装置 晶体硅 通孔 连通 清洗 方向分层 高压空气 间距布置 清洗效果 输气管路 相对布置 镂空结构 卡槽 上板 | ||
本实用新型公开了一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,包括:框架和空气压缩机构,其中:框架包括底板和相对布置在底板两侧的第一侧板、第二侧板;底板为镂空结构,底板设有多个,各底板沿其高度方向分层布置,且每一层底板的上板面上均设有多个由第一侧板向第二侧板方向间距布置并在任意相邻的两个隔板之间形成卡槽的隔板,各隔板的内部均具有第一夹腔和第二夹腔,且任意一个隔板上均设有与其第一夹腔连通的第一通孔和与第二夹腔连通的第二通孔;空气压缩机构通过输气管路分别向各第一夹腔、第二夹腔内输送高压空气。本实用新型可以有效提高工件的清洗效果。
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片生产制造技术领域,尤其涉及一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置。
背景技术
单晶硅片在生产打磨好后需要清洗表面的污垢,现有的清洗设备比较传统,就是将单晶硅片放入放入水槽中冲洗。这样方式洗得很不干净,而且由于单晶硅片比较薄,很多都重叠在一起,容易造成清洗死角。
实用新型内容
基于上述背景技术存在的技术问题,本实用新型提出一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置。
本实用新型提出了一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置,包括:框架和空气压缩机构,其中:
框架包括底板和相对布置在底板两侧并与底板固定连接的第一侧板、第二侧板;
底板为镂空结构,底板设有多个,各底板在第一侧板和第二侧板之间沿其高度方向分层布置,且每一层底板的上板面上均设有多个与其固定装配的隔板;各隔板由第一侧板向第二侧板方向间距布置并在任意相邻的两个隔板之间形成供工件放入的卡槽,各隔板的内部均具有第一夹腔和位于第一夹腔靠近第二侧板一侧的第二夹腔,且任意一个隔板上均设有与第一夹腔连通的第一进气口和与第二夹腔连通的第二进气口,任意一个隔板靠近第一侧板的一侧均设有至少一个与其第一夹腔连通的第一通孔,任意一个隔板靠近第二侧板的一侧均设有至少一个与其第二夹腔连通的第二通孔;
空气压缩机构通过输气管路分别与各隔板上的第一进气口和第二进气口连接以用于向各第一夹腔、第二夹腔内输送高压空气。
优选地,第一侧板内部设有输气通道;输气管路包括主管和支管,所述主管的一端与空气压缩机构连接,其另一端与所述输气通道连接;所述支管位于各隔板的一侧并由第一侧板向第二侧板方向直线延伸,且支管与所述输气通道连接;所述各隔板的第一进气口、第二进气口均分别与支管连接。
优选地,第二侧板内部设有输气通道;输气管路包括主管和支管,所述主管的一端与空气压缩机构连接,其另一端与所述输气通道连接;所述支管位于各隔板的一侧并由第一侧板向第二侧板方向直线延伸,且支管与所述输气通道连接;所述各隔板的第一进气口、第二进气口均分别与支管连接。
优选地,任意一个第一进气口、第二进气口与支管之间均设有可自动控制其开合度的控制阀。
优选地,卡槽的两端均设有与底板固定的挡板,且挡板为镂空结构。
优选地,卡槽内部设有多个与底板固定的挡板,各挡板均为镂空结构,且各挡板在卡槽内部由其一端向其另一端间距布置以将卡槽分隔成多个槽腔。
优选地,各隔板靠近第一侧板的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第一通孔,各隔板靠近第二侧板的一侧且位于任意一个槽腔处均设有第二通孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造