[实用新型]一种新型结构黄绿光外延片有效
| 申请号： | 201821088727.X | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208738289U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 林晓珊;宁如光;徐培强;刘芬;吴春寿;杨琪;熊欢 | 申请（专利权）人： | 南昌凯迅光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01L33/14;H01L33/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330100 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 限制层 波导层 发光区 源层 空穴 本实用新型 黄绿光 外延片 衬底 电流扩展层 发光二极管 内量子效率 反射层 缓冲层 宽度比 禁带 复合 吸收 | ||
1.一种新型结构黄绿光外延片，包括GaAs衬底(100)，其特征在于：所述GaAs衬底(100)上依次设有缓冲层(101)、AlGaAs/AlAs(DBR)反射层(102)、n-AlInP限制层(103)、n-AlGaInP波导层(104)、非掺AlInP限制层Ⅰ(105)、MQW有源层(106)、非掺AlInP限制层Ⅱ(107)、p-AlGaInP波导层(108)、p-AlInP限制层(109)和p-GaP电流扩展层(110)。
2.根据权利要求1所述的一种新型结构黄绿光外延片，其特征在于：所述缓冲层(101)厚度为0.5μm，缓冲层(101)掺杂浓度为5×1017cm-3，所述AlGaAs/AlAs(DBR)反射层(102)厚度为1.6μm，AlGaAs/AlAs(DBR)反射层(102)掺杂浓度为2×1018cm-3，所述n-AlInP限制层(103)厚度为0.5μm，n-AlInP限制层(103)掺杂浓度为2×1018cm-3，所述n-AlGaInP波导层(104)厚度为0.1μm，n-AlGaInP波导层(104)掺杂浓度为3×1017cm-3。
3.根据权利要求1所述的一种新型结构黄绿光外延片，其特征在于：所述非掺AlInP限制层Ⅰ(105)厚度为10nm，所述MQW有源层(106)厚度为600nm，所述非掺AlInP限制层Ⅱ(107)厚度为10nm。
4.根据权利要求1所述的一种新型结构黄绿光外延片，其特征在于：所述p-AlGaInP波导层(108)厚度0.1μm，p-AlGaInP波导层(108)掺杂浓度为5×1017cm-3，所述p-AlInP限制层(109)厚度为0.8μm，p-AlInP限制层(109)掺杂浓度为6×1017cm-3，所述p-GaP电流扩展层(110)厚度为5μm，p-GaP电流扩展层(110)掺杂浓度大于1×1018cm-3。
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