[实用新型]一种视窗结构及蒸发台有效

专利信息
申请号: 201821089640.4 申请日: 2018-07-10
公开(公告)号: CN208501084U 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 王志达;袁守良;邵旭 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/50;C23C14/52
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 李进
地址: 132013 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 遮光筒 遮光镜 蒸发台 视窗结构 遮光挡板 视窗 观察孔 中空通道 覆盖 第一端 转动 减少设备 径向布置 柱形结构 非透明 可控性 观察 遮光 蒸镀 半导体 邻近 封闭 延伸
【权利要求书】:

1.一种视窗结构,用于蒸发台,其特征在于,包括:

被构造来安装于所述蒸发台的遮光筒,所述遮光筒为由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形结构,所述第二端位于所述蒸发台内部;

非透明的遮光挡板,所述遮光挡板结合在所述遮光筒内,所述遮光挡板具有能够被用于观察所述蒸发台内部的观察孔;

透明的遮光镜,所述遮光镜以能够转动的方式沿所述遮光筒的径向布置且邻近所述遮光挡板,所述遮光镜定义有能够覆盖所述观察孔的多个覆盖部,所述遮光镜被构造来通过转动而改变以所述多个覆盖部中的任意一个覆盖所述观察孔;

被构造来封闭所述遮光筒的所述中空通道的透明的视窗,所述视窗结合在所述遮光筒的所述第一端,且所述遮光镜位于所述遮光挡板和所述视窗之间。

2.根据权利要求1所述的视窗结构,其特征在于,所述观察孔为长条形。

3.根据权利要求2所述的视窗结构,其特征在于,所述观察孔沿所述遮光挡板的径向延伸。

4.根据权利要求1所述的视窗结构,其特征在于,所述视窗由石英制作而成。

5.根据权利要求1所述的视窗结构,其特征在于,所述遮光筒由不锈钢制作而成。

6.根据权利要求1所述的视窗结构,其特征在于,所述视窗结构还包括与所述遮光镜匹配设置有的手柄,所述手柄在所述遮光筒的轴向延伸,所述手柄能够受外力驱动而使所述遮光镜旋转。

7.根据权利要求6所述的视窗结构,其特征在于,所述手柄通过轴和轴套的配合分别与所述遮光镜、所述视窗连接,所述遮光镜与所述手柄能够同步转动、且相对所述视窗转动。

8.根据权利要求6或7所述的视窗结构,其特征在于,所述手柄还设置有垫。

9.根据权利要求7所述的视窗结构,其特征在于,所述轴和所述轴套之间设置有垫圈。

10.一种蒸发台,其特征在于,所述蒸发台具有壳壁,所述壳壁开设有通孔,如权利要求1~9中任一项所述的视窗结构通过所述遮光筒穿设通孔而安装在所述壳壁。

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