[实用新型]一种视窗结构及蒸发台

说明书

一种视窗结构及蒸发台，属于半导体生产领域。视窗结构包括遮光筒、遮光挡板、遮光镜以及视窗。遮光筒为由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形结构。非透明的遮光挡结合在遮光筒内。遮光挡板具有能够被用于观察蒸发台内部的观察孔。遮光镜以能够转动的方式沿遮光筒的径向布置且邻近遮光挡板。遮光镜定义有能够覆盖观察孔的多个覆盖部，遮光镜被构造来通过转动而改变以多个覆盖部中的任意一个覆盖观察孔。视窗被构造来封闭遮光筒的中空通道。视窗结合在遮光筒的第一端，且遮光镜位于遮光挡板和视窗之间。视窗结构能够使得蒸发台的蒸镀过程具有更好的可控性，可以对蒸发台内的设备进行适时的观察，以减少设备的损坏。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产领域，具体而言，涉及一种视窗结构及蒸发台。

背景技术

电子束蒸发镀膜设备是半导体工艺制程中的一种关键设备。它主要用来对集成电路实现布线，适用于对铝、铜、镍、银等金属及难熔的金属和合金进行蒸发镀膜，并且拥有蒸发镀膜所需要的电子枪及相应的电源和控制系统。

MARK50蒸发设备是电子束蒸发镀膜的常用设备。MARK50主要包括两大核心部分，其一为电源、其二为控制系统。它采用的电源是CHA公司的SR-14电源，控制系统则采用SRCONTROLLER-1(SR-1)。

发明人发现，在采用mark50进行蒸镀操作时，蒸发工序蒸发共晶品种的工艺中，在金属锡化源后，打开挡板进行蒸锡蒸到(埃，0.1纳米)将常常导致观察视窗玻璃被金属锡全部覆盖，操作者无法观察到腔室内电子束蒸锡时状态、形状，完全凭借经验和感觉。而蒸锡的厚度是由于长时间看不到电子束，时常会出现崩源的问题，也会出现电子束打到坩埚上或者离坩埚边缘太近出现啃锅现象降低坩埚使用寿命，出现以上问题都会对芯片质量造成影响。

有鉴于此，改造mark50就显得很有必要。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

基于现有技术的不足，本实用新型提供了一种视窗结构及蒸发台，以部分或全部地改善、甚至解决现有技术中的问题。

本实用新型是这样实现的：

在本实用新型的第一方面，实施例提供了一种视窗结构。

视窗结构用于蒸发台，以便对蒸发台内的坩埚、电子束等进行观察，进而可以根据蒸镀情况进行适时的调整和控制。

视窗结构包括：

被构造来安装于蒸发台的遮光筒，遮光筒为由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形结构，第二端位于蒸发台内部；

非透明的遮光挡板，遮光挡板结合在遮光筒内，遮光挡板具有能够被用于观察蒸发台内部的观察孔；

透明的遮光镜，遮光镜以能够转动的方式沿遮光筒的径向布置且邻近遮光挡板，遮光镜定义有能够覆盖观察孔的多个覆盖部，遮光镜被构造来通过转动而改变以多个覆盖部中的任意一个覆盖观察孔；

被构造来封闭遮光筒的中空通道的透明的视窗，视窗结合在遮光筒的第一端，且遮光镜位于遮光挡板和视窗之间。

在其他的一个或多个示例中，观察孔为长条形。

在其他的一个或多个示例中，观察孔沿遮光挡板的径向延伸。

在其他的一个或多个示例中，视窗由石英制作而成。

在其他的一个或多个示例中，遮光筒由不锈钢制作而成。

在其他的一个或多个示例中，视窗结构还包括与遮光镜匹配设置有的手柄，手柄在遮光筒的轴向延伸，手柄能够受外力驱动而使遮光镜旋转。