[实用新型]一种防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置

权利要求书

1.一种防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，包括：水槽(1)、托盘组、以及用于提供高压气流的高压气流供给机构(2)，其中：

水槽(1)的内侧壁上设有竖直延伸的第一滑槽和与第一滑槽相对布置的第二滑槽；

托盘组包括至少一个托盘(3)，且托盘(3)的一侧设有用于卡入第一滑槽内的第一滑块，其远离第一滑块的一侧设有用于卡入第二滑槽内的第二滑块；

托盘(3)包括底板(31)和若干个侧板(32)，底板(31)为镂空结构，底板(31)的下方设有竖直布置并与其固定的限位柱(4)，各侧板(32)均固定在底板(31)的上方并在任意相邻的两个侧板(32)之间预留间距以形成供工件放入的卡槽；各侧板(32)的内部均设有夹腔(a)，且各侧板(32)上的夹腔(a)通过管路(5)彼此连通；任意相邻的两个侧板(32)相互靠近的一侧侧壁上均设有与其夹腔(a)连通的气孔(b)；

高压气流供给机构(2)与所述管路(5)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，管路(5)包括主管和若干个与主管连通的支管，各支管与各侧板(32)的夹腔(a)一一对应并分别与对应的夹腔(a)连通。

3.根据权利要求2所述的防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，任意一个支管均通过可自动控制开合度的控制阀与对应的夹腔(a)连通。

4.根据权利要求3所述的防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，任意一个侧板(32)的两侧侧壁上均分别安装有用于检测卡槽内的工件是否与侧板(32)的侧壁抵靠的传感器，且当其中任意一个传感器检测到工件与侧板(32)的侧壁抵靠时，与该侧板(32)对应的控制阀控制其开合度增大。

5.根据权利要求1所述的防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，卡槽的两端均设有与底板(31)固定的挡板(6)，且挡板(6)为镂空结构。

6.根据权利要求5所述的防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，卡槽内部设有多个与底板(31)固定的挡板(6)，各挡板(6)均为镂空结构，且各挡板(6)在卡槽内部由其一端向其另一端间距布置以将卡槽分隔成多个槽腔。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，托盘(3)设有多个，且任意一个托盘(3)的上盘面上均设有限位槽，且该限位槽与该托盘(3)上的限位柱(4)位于同一直线上。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，其特征在于，高压气流供给机构(2)固定安装在水槽(1)的外壁上。