[实用新型]一种单晶硅片移转支架

权利要求书

1.一种单晶硅片移转支架，其特征在于，包括：

托板；

托架，其可滑动地设置在所述托板的上方；以及

多个弧形下支撑架，其沿轴向均布设置在所述托架上，用于为单晶硅片提供向上的支撑力；

多组倒U形侧支撑架，其分别设置在所述弧形下支撑架的前侧和后侧，用于为单晶硅片提供侧向的支撑力；

石英辊，其分别设置在所述倒U形侧支撑架的顶部，以及弧形下支撑架的左右两端；

其中，所述倒U形侧支撑架与水平面呈60°夹角，每组倒U形侧支撑架由高倒U形侧支撑架和低倒U形侧支撑架组成，所述高倒U形侧支撑架位于弧形下支撑架的后侧，低倒U形侧支撑架位于弧形下支撑架的前侧，所述高倒U形侧支撑架的高度为单晶硅片直径的2/3～3/4；所述低倒U形侧支撑架的高度为单晶硅片直径的1/3～1/2。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片移转支架，其特征在于，还包括：

滑动装置，其设置在所述托板与托架之间，用于实现托架与托板可滑动连接；

其中，所述滑动装置包括；

滑轨，其并列设置在所述托板上，位于托架的下方；

滑块，其设置在所述托架下端，并与所述滑轨相配合；

伸缩电机，其设置在所述托架的后方，并与所述托架连接，用于带动所述托架在托板上轴向移动。

3.根据权利要求1或2所述的单晶硅片移转支架，其特征在于：所述托板为中空结构的壳体，在所述托板内设有用于在移转过程中为单晶硅片降温的冷却降温装置。

4.根据权利要求3所述的单晶硅片移转支架，其特征在于，所述冷却降温装置包括：

进风机，其与所述托板连接，用于将空气引入托板内部；以及

冷却器，其设置在所述托板内，用于将空气冷却；

出风口，其均布设置在所述托板的上端面，用于排出冷却风；

其中，在所述出风口处设有防尘分子筛。

5.根据权利要求1或2所述的单晶硅片移转支架，其特征在于，还包括：

万向转轮，其设置在所述托板的下端面，用于滚动支撑所述托板。

6.根据权利要求5所述的单晶硅片移转支架，其特征在于，还包括：

推杆，其设置在所述托板的侧后部，用于拖动所述托板。

7.根据权利要求5所述的单晶硅片移转支架，其特征在于，还包括：

手刹，其设置在所述万向转轮上，用于固定所述万向转轮。