[实用新型]硅片状态检测机构和硅片传输系统

说明书

本实用新型提供了一种硅片状态检测机构和硅片传输系统，所述硅片传输系统包括：片库框架、片盒、机械手装置以及硅片状态检测机构；所述片库框架具有相对的第一侧面和第二侧面，所述片库框架上还开有一窗口，所述窗口贯穿所述第一侧面和所述第二侧面；所述片盒位于所述片库框架的第二侧面；所述硅片状态检测机构位于所述片库框架的第一侧面；所述机械手装置和所述硅片状态检测机构能通过所述窗口对所述片盒内的硅片进行操作，所述硅片状态检测机构用于检测所述片盒内硅片的状态，减少硅片叠放的异常。

技术领域

本实用新型涉及光刻机领域，尤其涉及一硅片状态检测机构和硅片传输系统。

背景技术

片库是一种用于光刻机硅片传输分系统的设备，它将片盒从光刻机外部搬运到光刻机内部，并完成在不同工位间的运动，以满足硅片传输分系统对硅片的需求。在这个过程中需要完成：一、获取硅片在片盒中的状态信息，包括正常片、叠片、跨槽等；二、硅片与机械手片叉的X、Y、Z三个自由度上的位置关系的建立。这就需要必要的装置、以适当的方式进行快速响应，并准确、可靠的完成工作，满足先进光刻机对片库的上述需求。目前，硅片状态信息的获取主要通过机构带动安装在其上的检测单元运动到片盒内部进行检测，但检测单元的安装方式会带来其自身不稳定、放大器与检测单元之间的光纤损坏，同时存在检测盲区有撞片的风险；硅片与机械手片叉的X、Y、Z三个自由度上的位置关系的建立主要靠人目视标定，造成精度不高，耗费大量时间。上述状况造成频繁的的维修检测单元，产生高昂的成本，不适合大批量生产、生产现场的问题的测试、诊断和恢复等；此外机械手片叉进入片库区域后，如果片库Z向运动超过正常值，则会造成片叉损坏，故需要对片库区域的异物进行检测。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片状态检测机构和硅片传输系统，提高硅片检测装置的稳定性和可靠性。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种硅片状态检测机构，所述硅片状态检测机构包括：底座、位于所述底座上的导轨、位于所述导轨上并能沿着所述导轨移动的安装板、连接在所述安装板上的支架以及安装在所述支架上的硅片检测装置和放大器；所述放大器和所述硅片检测装置信号连接；所述底座内还设置有为所述安装板提供动力的动力装置。

可选的，在所述的硅片状态检测机构中，所述支架包括第一支架和第二支架，所述第一支架连接在所述安装板的上部，所述第二支架连接在所述安装板的侧部，所述硅片检测装置安装在所述第一支架上，所述放大器安装在所述第二支架上。

可选的，在所述的硅片状态检测机构中，所述支架包括第一支架，所述第一支架安装在安装板的上部，所述硅片检测装置和所述放大器堆叠在所述第一支架上。

可选的，在所述的硅片状态检测机构中，所述硅片检测装置包括对射式激光传感器和多个第一反射式激光传感器，所述第一支架包括第一支杆、第二支杆和横杆，所述横杆连接所述第一支杆和所述第二支杆，所述第一支杆、所述横杆和所述第二支杆组成一个U形的形状，所述多个第一反射式激光传感器分别位于所述第一支杆和/或所述第二支杆上，所述对射式激光传感器的发射部和接收部分别位于所述第一支杆和所述第二支杆上。

可选的，在所述的硅片状态检测机构中，所述放大器通过触头的连接方式与电气转接板连接。

可选的，在所述的硅片状态检测机构中，所述动力装置包括：电机、与所述电机连接的主动轮、通过同步带被所述主动轮带动的从动轮、与所述从动轮连接的丝杠以及位于所述丝杠上的丝母；所述丝母与所述安装板通过一辅助板连接。

本实用新型还提供了一种硅片传输系统，所述硅片传输系统包括：片库框架、片盒、机械手装置以及硅片状态检测机构；

所述片库框架具有相对的第一侧面和第二侧面，所述片库框架上还开有一窗口，所述窗口贯穿所述第一侧面和所述第二侧面；

所述片盒位于所述片库框架的第二侧面；

所述硅片状态检测机构位于所述片库框架的第一侧面；