[实用新型]一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉有效
| 申请号： | 201821104899.1 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN208422865U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 雷小龙;李龙;李富林 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67;H01L21/22;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 邹敏菲;吴静宜 |
| 地址： | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉降 扩散炉 石英舟 检测 保护装置检测 夹持支撑机构 检测模块 石英炉管 导轨 桨头 保护装置 本实用新型 太阳能电池 滑动 净化台 新功能 硅片 夹持 炉体 停机 破损 承载 净化 配合 制造 | ||
1.一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，包括净化台(11)、石英舟(10)、炉体柜(13)；净化台(11)包括导轨(3)、在导轨上滑动的桨头夹持支撑机构、桨头夹持支撑机构夹持的用于承载石英舟(10)的SIC桨(9)；炉体柜(13)包括石英炉管(1)、炉门(2)，以及控制炉门(2)开启的控制机构，其特征在于，包括设置在净化台(11)上由控制机构控制的、检测需进入石英炉管(1)的SIC桨(9)是否发生沉降的拖舟保护装置，以及设置在导轨(3)上与桨头夹持支撑机构配合、用于检测拖舟保护装置检测的沉降信号是否有效的检测模块。
2.根据权利要求1所述的一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，其特征在于，所述桨头夹持支撑机构包括与导轨(3)滑动配合的支撑机构(8)、设置在支撑机构(8)上的金属挡片(7)，和用于夹持SIC桨的浆头(6)。
3.根据权利要求1或2所述的一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，其特征在于，所述拖舟保护装置包括雷射传感器(12)；所述检测模块为光敏感应器(4)，光敏感应器(4)通过检测金属挡片(7)是否遮挡其光线，以产生信号来检测拖舟保护装置检测的沉降信号是否有效。
4.根据权利要求1所述的一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，其特征在于，所述石英舟(10)包括位于两端的端板，在运行方向前方的端板称为前方端板(101)。
5.根据权利要求3所述的一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，其特征在于，所述光敏感应器(4)通过一个U型槽(5)设置在导轨(3)上方，光敏感应器(4)与U型槽(5)相配合滑动；所述雷射传感器(12)设置在炉门(2)侧方。
6.根据权利要求4或5所述的一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，其特征在于，若SIC桨(9)不发生沉降，雷射传感器(12)的照射点位于石英舟(10)的前方端板(101)，误差区间为距离前方端板(101)顶部距离大于1mm且小于等于5mm。
7.根据权利要求1所述的一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，其特征在于，所述净化台(11)包括安全管理系统，安全管理系统包括检测到SIC桨(9)沉降时行进报警的报警模块，以及控制伺服电机停止工作的控制模块。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
