[实用新型]一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉

说明书

本实用新型公开了一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，属于太阳能电池制造技术领域。包括净化台、石英舟、炉体柜，以及设置在净化台上的由控制机构控制、检测需进入石英炉管的SIC桨是否发生沉降的拖舟保护装置，以及设置在导轨上与桨头夹持支撑机构配合、用于检测拖舟保护装置检测的沉降信号是否有效的检测模块。桨头夹持支撑机构夹持着承载有石英舟的SIC桨在导轨上滑动，通过拖舟保护装置检测到的信号以及检测模块检测到的信号共同判断SIC桨是否沉降，以避免因SIC桨沉降而导致的撞坏石英炉管、撞坏石英舟、硅片因撞击破损、异常停机风险，借助扩散炉原有装置完成新功能，投入低且实用性强。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉。

背景技术

目前，全球的太阳能生产线得到了爆发式的发展，太阳能电池发电是太阳能发电的主流。扩散炉是太阳能电池生产线前道工序的重要工艺设备，主要用途是对硅片进行掺杂，改变和控制硅片内的杂质类型、浓度和分布，建立起不同的电性能区域。SIC桨是扩散炉的一个部件，其作用是在扩散炉运行过程中，通过推拉舟机构的传动，实现将待工艺的石英舟送入石英炉管内，以及将已工艺的石英舟从石英炉管内取出的动作。一般情况下，SIC桨长度2.6米，且经常在高温下运行，在高温和受力的情况下，SIC桨位置容易发生偏移。如业界所知，SIC桨在装载石英舟情况下，其尾部可以接受的下沉位移是5mm，其头部支点在20cm处，根据三角定理，可得出头部位移可以接受的范围是5/12mm，当头部偏差超过该范围，则不能顺利取放石英舟从而造成设备发生机械碰撞导致以下风险：1.撞坏石英炉管；2.撞坏石英舟；3.机械手撞上位置异常的石英舟导致硅片破碎；4.异常停机导致产能损失。要想避免这些风险，检测SIC桨进入石英炉管前是否发生沉降显然是一个非常关键的技术点。

发明内容

本实用新型的目的在于：通过提供一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，解决现有技术中SIC桨发生沉降，不能顺利取放石英舟从而造成设备发生机械碰撞，导致撞坏石英炉管、撞坏石英舟、机械手撞上位置异常的石英舟导致硅片破碎和异常停机导致产能损失的问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种可进行SIC桨沉降检测的扩散炉，包括净化台、石英舟、炉体柜。净化台包括导轨、在导轨上滑动的桨头夹持支撑机构、桨头夹持支撑机构夹持的用于承载石英舟的SIC桨。炉体柜包括石英炉管、炉门，以及控制炉门开启的控制机构。所述扩散炉还包括设置在净化台上、由控制机构控制、检测需进入石英炉管的SIC桨是否发生沉降的拖舟保护装置，以及设置在导轨上与桨头夹持支撑机构配合、用于检测拖舟保护装置检测的沉降信号是否有效的检测模块。

进一步，所述桨头夹持支撑机构包括与导轨滑动配合的支撑机构、设置在支撑机构上的金属挡片，和用于夹持SIC桨的浆头。

进一步，所述拖舟保护装置包括雷射传感器；所述检测模块为光敏感应器，光敏感应器通过检测金属挡片是否遮挡其光线，以产生信号来检测拖舟保护装置检测的沉降信号是否有效。

进一步，所述石英舟包括位于两端的端板，在运行方向前方的端板称为前方端板。

进一步，所述光敏感应器通过一个U型槽设置在导轨上方，光敏感应器与U型槽相配合滑动，所述雷射传感器设置在炉门侧方。

进一步，若SIC桨不发生沉降，雷射传感器的照射点位于石英舟的前方端板，误差区间为距离前方端板顶部距离大于1mm且小于等于5mm。

进一步，所述净化台包括安全管理系统，安全管理系统包括检测到SIC桨沉降时行进报警的报警模块，以及控制伺服电机停止工作的控制模块。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：