[实用新型]一种镀膜机

权利要求书

1.一种镀膜机，其特征在于，所述镀膜机包括至少两个滚筒、滚筒载盘、滚筒马达、靶材和ICP；

所述滚筒的侧壁用于放置3D曲面玻璃，所述滚筒的直径的取值范围为：50mm至400mm，包括端点值；所述滚筒与所述滚筒载盘固定连接，所述滚筒载盘用于将任一所述滚筒移动至预设位置；所述滚筒马达用于使位于所述预设位置的滚筒沿该滚筒周向旋转；所述靶材的输出口朝向所述预设位置，用于向位所述预设位置的滚筒侧壁的3D曲面玻璃表面沉积粒子；所述ICP的输出口朝向所述预设位置，用于将沉积在所述3D曲面玻璃表面的粒子氧化。

2.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述靶材的输出口与所述ICP的输出口位于同一水平面。

3.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述滚筒载盘为一圆环形滚筒载盘，所述镀膜机还包括滚筒载盘马达，所述滚筒载盘马达用于使所述滚筒载盘沿周向转动。

4.根据权利要求3所述的镀膜机，其特征在于，所述滚筒载盘马达的输出轴固定连接有第一锥齿轮，所述滚筒载盘固定连接有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮。

5.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述滚筒通过一转轴与所述滚筒载盘固定连接。

6.根据权利要求1至5任一项权利要求所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机还包括用于升降所述滚筒马达的直线驱动装置，所述直线驱动装置与所述滚筒马达固定连接，所述滚筒马达具有一输出轴，所述输出轴的端部具有一凸块，所述滚筒的上表面或下表面具有与所述凸块相配合的凹槽，以使所述输出轴嵌入所述滚筒。

7.根据权利要求6所述的镀膜机，其特征在于，所述直线驱动装置为气缸。

8.根据权利要求7所述的镀膜机，其特征在于，所述凸块为三棱柱型凸块，所述凹槽为三棱柱型凹槽。

9.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机还包括外壳体，所述滚筒、所述滚筒载盘、所述滚筒马达、所述靶材和所述ICP均设置于所述外壳体内。

10.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机包括5个所述滚筒。