[实用新型]一种镀膜机有效
申请号: | 201821111107.3 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN208949397U | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 杨鹏;周伟杰 | 申请(专利权)人: | 信利光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C03C17/00 |
代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 王仲凯 |
地址: | 516600 广东省汕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滚筒 镀膜 玻璃 镀膜机 侧壁 本实用新型 玻璃表面 镀膜过程 滚筒表面 滚筒旋转 厚度均匀 预设位置 靶材 产能 膜层 贴附 贴合 载盘 马达 运输 | ||
本实用新型公开了一种镀膜机,具有至少两个滚筒,且滚筒的直径的取值范围在50mm至400mm之间,具有该直径的滚筒的侧壁可以很好的贴合现阶段常用的3D曲面玻璃,不会使得3D曲面玻璃明显突出滚筒的侧壁,从而实现在3D曲面玻璃表面镀厚度均匀的膜层。上述滚筒马达会使滚筒旋转以通过靶材以及ICP对该滚筒表面贴附的3D曲面玻璃进行镀膜,同时上述滚筒载盘可以依次将滚筒运输到预设位置,从而可以实现在一次镀膜过程中对大量的3D曲面玻璃进行镀膜,以解决由于减少滚筒直径而带来的单次镀膜产能低下的问题。
技术领域
本实用新型涉及表面加工领域,特别是涉及一种镀膜机。
背景技术
随着近年来科技不断的进步以及触控显示产品行业的发展,3D曲面玻璃在移动终端,例如手机中越来越普及。所谓3D曲面玻璃,即具有两个弯曲面的玻璃,通常被用作手机中的屏幕盖板。
在现有技术中,现阶段常规使用的镀膜机中,具有两个曲面的3D曲面玻璃通常无法完整的贴合在镀膜机的滚筒表面,从而使得在使用传统镀膜机时,会导致在3D曲面玻璃上镀的膜层的厚度出现严重不均匀的情况。所以如何在3D曲面玻璃上镀厚度均匀的膜层时本领域技术人员在现阶段急需解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种镀膜机,可以在3D曲面玻璃表面镀厚度均匀的膜层。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种镀膜机,所述镀膜机包括至少两个滚筒、滚筒载盘、滚筒马达、靶材和ICP;
所述滚筒的侧壁用于放置3D曲面玻璃,所述滚筒的直径的取值范围为:50mm至400mm,包括端点值;所述滚筒与所述滚筒载盘固定连接,所述滚筒载盘用于将任一所述滚筒移动至预设位置;所述滚筒马达用于使位于所述预设位置的滚筒沿该滚筒周向旋转;所述靶材的输出口朝向所述预设位置,用于向位所述预设位置的滚筒侧壁的3D曲面玻璃表面沉积粒子;所述ICP的输出口朝向所述预设位置,用于将沉积在所述3D曲面玻璃表面的粒子氧化。
可选的,所述靶材的输出口与所述ICP的输出口位于同一水平面。
可选的,所述滚筒载盘为一圆环形滚筒载盘,所述镀膜机还包括滚筒载盘马达,所述滚筒载盘马达用于使所述滚筒载盘沿周向转动。
可选的,所述滚筒载盘马达的输出轴固定连接有第一锥齿轮,所述滚筒载盘固定连接有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮。
可选的,所述滚筒通过一转轴与所述滚筒载盘固定连接。
可选的,所述镀膜机还包括用于升降所述滚筒马达的直线驱动装置,所述直线驱动装置与所述滚筒马达固定连接,所述滚筒马达具有一输出轴,所述输出轴的端部具有一凸块,所述滚筒的上表面或下表面具有与所述凸块相配合的凹槽,以使所述输出轴嵌入所述滚筒。
可选的,所述直线驱动装置为气缸。
可选的,所述凸块为三棱柱型凸块,所述凹槽为三棱柱型凹槽。
可选的,所述镀膜机还包括外壳体,所述滚筒、所述滚筒载盘、所述滚筒马达、所述靶材和所述ICP均设置于所述外壳体内。
可选的,所述镀膜机包括5个所述滚筒。
本实用新型所提供的一种镀膜机,具有至少两个滚筒,且滚筒的直径的取值范围在50mm至400mm之间,具有该直径的滚筒的侧壁可以很好的贴合现阶段常用的3D曲面玻璃,不会使得3D曲面玻璃明显突出滚筒的侧壁,从而实现在3D曲面玻璃表面镀厚度均匀的膜层。上述滚筒马达会使滚筒旋转以通过靶材以及ICP对该滚筒表面贴附的3D曲面玻璃进行镀膜,同时上述滚筒载盘可以依次将滚筒运输到预设位置,从而可以实现在一次镀膜过程中对大量的3D曲面玻璃进行镀膜,以解决由于减少滚筒直径而带来的单次镀膜产能低下的问题。
附图说明
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