[实用新型]一种嵌入式双层结构碳化硅托盘

权利要求书

1.一种嵌入式双层结构碳化硅托盘，包括盘体(1)、第一晶圆槽(2)、第二晶圆槽(3)，其特征在于：

所述盘体(1)上表面设置有第一晶圆槽(2)，若干第一晶圆槽(2)在盘体(1)上表面呈矩阵分布排列；相邻四个第一晶圆槽(2)之间的盘体(1)上表面设置有第二晶圆槽(3)，若干第二晶圆槽(3)在盘体(1)上表面呈矩阵分布排列。

2.根据权利要求1所述的一种嵌入式双层结构碳化硅托盘，其特征在于，所述第一晶圆槽(2)的深度比所述第二晶圆槽(3)的深度深，第一晶圆槽(2)的深度为第二晶圆槽(3)深度的两倍。

3.根据权利要求1所述的一种嵌入式双层结构碳化硅托盘，其特征在于，所述第一晶圆槽(2)一侧设置有夹放缺口槽(21)，夹放缺口槽(21)深度与第一晶圆槽(2)深度相同。

4.根据权利要求1所述的一种嵌入式双层结构碳化硅托盘，其特征在于，所述盘体(1)的形状为立方体；所述第一晶圆槽(2)的形状、所述第二晶圆槽(3)的形状均匀圆柱形槽；第一晶圆槽(2)的直径与第二晶圆槽(3)的直径相同；第一晶圆槽(2)的直径比放入第一晶圆槽(2)内的晶圆直径略大。

5.根据权利要求1所述的一种嵌入式双层结构碳化硅托盘，其特征在于，若干所述第一晶圆槽(2)底面齐平；若干所述第二晶圆槽(3)底面齐平。

6.根据权利要求1所述的一种嵌入式双层结构碳化硅托盘，其特征在于，第一晶圆槽(2)、第二晶圆槽(3)、夹放缺口槽(21)均垂直于盘体(1)的上表面。