[实用新型]硅片间距转换系统

权利要求书

1.一种硅片间距转换系统，其特征在于，包括机械手组件、水平收载机构和输送组件，其中，所述机械手组件用于将硅片生产中前道加工工序承载装置上的下料硅片组抓取并使所述硅片组处于水平方向，及将处于水平方向的所述硅片组送入至所述水平收载机构上；所述水平收载机构用于收取所述机械手组件送入的硅片组；所述输送组件用于将所述水平收载机构上的硅片逐片输送至后道加工工序的承载装置上；

所述水平收载机构包括升降组件和连接在所述升降组件上的顶板，所述升降组件可带动所述顶板上升或下降，在所述顶板底部竖直设置有第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板可相互靠近或相互远离；

在所述第一侧板靠近所述第二侧板的一侧上竖直并排设有多个第一齿片，两个相邻的第一齿片之间限定出一个第一齿槽，在所述第二侧板靠近所述第一侧板的一侧上竖直并排设有多个第二齿片，两个相邻的第二齿片之间限定出一个第二齿槽，相对设置的每两个第一齿槽和第二齿槽之间限定出一个硅片插槽，每个所述硅片插槽可容纳一片硅片；

所述输送组件包括输送带，所述输送带可与所述硅片插槽对接。

2.根据权利要求1所述的硅片间距转换系统，其特征在于，所述机械手组件包括翻转装置及连接在所述翻转装置上的多个真空吸盘，所述多个真空吸盘用于吸取前道加工工序承载装置上的下料硅片组，所述翻转装置用于使所述硅片组处于水平方向。

3.根据权利要求1所述的硅片间距转换系统，其特征在于，所述升降组件包括竖直设置的滑轨及可沿所述滑轨滑行的滑块，所述顶板连接在所述滑块上。

4.根据权利要求3所述的硅片间距转换系统，其特征在于，所述升降组件还包括伺服电机、竖直设置的螺杆和套设在所述螺杆上的滚珠螺母，所述螺杆由所述伺服电机驱动转动，所述滑块连接在所述滚珠螺母上。

5.根据权利要求1所述的硅片间距转换系统，其特征在于，在所述顶板底部竖直设置有第一基板和第二基板，所述第一侧板安装在所述第一基板上，所述第二侧板安装在所述第二基板上。

6.根据权利要求5所述的硅片间距转换系统，其特征在于，在所述顶板上水平设置有导轨，所述第一基板和第二基板可沿所述导轨水平滑行以相互靠近或相互远离。

7.根据权利要求6所述的硅片间距转换系统，其特征在于，所述第一基板、第二基板分别由第一气缸、第二气缸驱动沿所述导轨水平滑行，所述第一气缸、第二气缸位于所述顶板顶部。

8.根据权利要求1所述的硅片间距转换系统，其特征在于，所述第一齿片和第二齿片为直角梯形片，所述第一齿片的斜腰边与所述第二齿片的斜腰边相对。

9.根据权利要求1所述的硅片间距转换系统，其特征在于，在所述第一齿片及第二齿片斜腰边的端部设置有刃部。

10.根据权利要求9所述的硅片间距转换系统，其特征在于，所述刃部的刃角为15～40°。