[实用新型]一种磁控溅射织物样品夹持器有效
申请号: | 201821127794.8 | 申请日: | 2018-07-16 |
公开(公告)号: | CN208617971U | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 黄美林;杜文琴;巫莹柱;叶丽华;任永聪;林雪莹;王晓如;梁竞鹏 | 申请(专利权)人: | 五邑大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/50 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谭晓欣 |
地址: | 529000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品盘 弹性片 样品夹 夹持器 右挡块 左挡块 本实用新型 表面平整 磁控溅射 圆形凹槽 织物样品 固定架 固定腔 后挡块 底架 紧圈 可拆卸安装 弹性安装 方便更换 均匀受力 样品表面 圆形织物 掉落 镀膜 夹持 溅射 容置 架设 平整 | ||
1.一种磁控溅射织物样品夹持器,其特征在于:包括固定架(1)、样品盘(2)和样品夹紧圈(3);所述固定架(1)包括底架(11),及设置在底架(11)上的左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)、左弹性片(14a)和右弹性片(14b),所述底架(11)设有向前侧开口的U型槽,所述左挡块(12a)、右挡块(12b)和后挡块(13)分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧,所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)形成用于容置样品盘(2)的固定腔,所述样品盘(2)通过U型槽可拆卸安装在固定腔内;所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)对应设置于左挡块(12a)和右挡块(12b)的内侧靠近U型槽的位置,并分别具有向上凸起的用于顶压样品盘(2)的拱形部(141);所述样品夹紧圈(3)具有弹性且设置有缺口(31),所述样品盘(2)设有一圆形凹槽(22),所述样品夹紧圈(3)弹性安装在样品盘(2)的圆形凹槽(22)里。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器,其特征在于:所述样品盘(2)连接有把手(21)。
3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射织物样品夹持器,其特征在于:所述把手(21)设有从样品盘(2)表面逐渐向下的阶梯部。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器,其特征在于:所述后挡块(13)中间设置有向前侧开口的定位槽(131),所述样品盘(2)设有与所述定位槽(131)配合的定位凸柱(23)。
5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器,其特征在于:所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)设有对应的用于安装螺钉的通孔,所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)通过螺钉固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器,其特征在于:所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)的前后端分别设置有向外侧延伸的连接部(142),所述左挡块(12a)和右挡块(12b)下表面设有供所述连接部(142)伸入的凹位,所述连接部(142)设有用于安装螺钉的通孔,所述左弹性片(14a)、右弹性片(14b)分别通过螺钉与左挡块(12a)、右挡块(12b)及底架(11)固定连接。
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