[实用新型]一种磁控溅射织物样品夹持器

说明书

本实用新型公开了一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；固定架包括底架、左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，底架设有U型槽，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置；样品盘设有一圆形凹槽，样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。本实用新型的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射设备领域，特别是涉及一种磁控溅射织物样品夹持器。

背景技术

目前，磁控溅射技术在制备纳米防辐射布具有良好的应用前景。因此，研究磁控溅射法制备纳米防辐射布过程中的各工艺因素，对制得的纳米防辐射布屏蔽效能的影响，已然成为了世界各国研究的热点。

现有的磁控溅射镀膜设备通常在设备的上部位置设置样品台，相对的靶安装在样品台的下方，样品需要通过夹持器固定在样品台下表面，然而现有的样品夹持器大多是应用到非柔性材料上，当使用柔性材料如纺织品织物作为样品基底时，要保证织物样品被牢固固定且要保证表面平整，以免对成膜的均匀性和致密性造成影响。

实用新型内容

为克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射织物样品夹持器，能够实现样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。

本实用新型为解决其技术问题采用的技术方案是：

一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；所述固定架包括底架，及设置在底架上的左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，所述底架设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块、右挡块和后挡块分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置，并分别具有向上凸起的用于顶压样品盘的拱形部；所述样品夹紧圈具有弹性且设置有缺口，所述样品盘设有一圆形凹槽，所述样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。

进一步，所述样品盘连接有把手。所述把手设有从样品盘表面逐渐向下的阶梯部。

进一步，所述后挡块中间设置有向前侧开口的定位槽，所述样品盘设有与所述定位槽配合的定位凸柱。

进一步，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架设有对应的用于安装螺钉的通孔，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架通过螺钉固定连接。

进一步，所述左弹性片和右弹性片的前后端分别设置有向外侧延伸的连接部，所述左挡块和右挡块下表面设有供所述连接部伸入的凹位，所述连接部设有用于安装螺钉的通孔，所述左弹性片、右弹性片分别通过螺钉与左挡块、右挡块及底架固定连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的织物样品夹持器，其固定架装配固定在磁控溅射镀膜设备的真空腔室内的样品台底面，对应的靶安装在下方。使用时，根据大小要求裁剪制作一定大小的圆形织物样品，然后放进样品盘的圆形凹槽里，并通过夹紧圈贴住样品夹紧在样品盘的圆形凹槽里；接着将装有样品的样品盘从U型槽前侧插入至固定架的固定腔内，并由左弹性片和右弹性片向上将样品盘顶压在样品台底面，实现样品盘被稳固夹持在固定架内，实现可移动的插入或拆下样品盘。本实用新型的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。

附图说明

图1是本实用新型的固定架的结构示意图；