[实用新型]一种LED芯片蒸镀机有效
| 申请号： | 201821144093.5 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN208472181U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 吴娟 | 申请（专利权）人： | 广州米珈尼电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/52 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 王霞 |
| 地址： | 510000 广东省广州市南沙区丰泽东路106*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃板 真空室本体 卡环 观察窗 电子枪 蒸镀机 伞架 底座 电机 取出 本实用新型 制造设备 导磁片 内固定 真空泵 上端 侧壁 放入 气窗 室门 轴端 坩埚 连通 挤压 收缩 | ||
1.一种LED芯片蒸镀机，其特征在于：包括真空室本体(1)以及与真空室本体(1)转动连接的室门(2)，真空室本体(1)内设有底座(3)、电子枪(4)、导磁片(5)、坩埚(6)和伞架(7)，底座(3)设于真空室本体(1)的底部，电子枪(4)安装在底座(3)上，导磁片(5)位于电子枪(4)上方，坩埚(6)位于电子枪(4)上侧，伞架(7)位于真空室本体(1)上部；真空室本体(1)上端安装有电机(8)，电机(8)的轴端与伞架(7)相连；真空室本体(1)的侧壁上开有与真空泵连通的气窗(9)；室门(2)上设有至少一个圆形的观察窗(10)，观察窗(10)内固定设有第一玻璃板(11)，第一玻璃板(11)朝向真空室本体(1)的一侧设有具有缺口的卡环(12)，卡环(12)和第一玻璃板(11)之间放置有第二玻璃板(13)。
2.根据权利要求1所述的LED芯片蒸镀机，其特征在于：所述真空室本体(1)上设有用于锁定室门(2)的气动门扣(14)，室门(2)上设有行程开关(15)，真空室本体(1)上设有与行程开关(15)相对的挡板(16)，行程开关(15)与气动门扣(14)电连接。
3.根据权利要求1所述的LED芯片蒸镀机，其特征在于：所述卡环(12)的缺口处设有向卡环(12)内延伸的手持部(120)。
4.根据权利要求1-3任一所述的LED芯片蒸镀机，其特征在于：所述卡环(12)由弹性材料制成。
5.根据权利要求1-3任一所述的LED芯片蒸镀机，其特征在于：所述坩埚(6)上侧安装有遮板(17)，遮板(17)通过旋转气缸立柱(18)安装在底座(3)上。
6.根据权利要求1-3任一所述的LED芯片蒸镀机，其特征在于：所述室门(2)上设有密封条，真空室本体(1)上设有与密封条匹配的凹槽。
7.根据权利要求1-3任一所述的LED芯片蒸镀机，其特征在于：所述伞架(7)上设有承载孔。
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