[实用新型]一种LED芯片蒸镀机

说明书

本实用新型属于LED芯片制造设备技术领域，公开了一种LED芯片蒸镀机，包括真空室本体以及室门，底座设于真空室本体的底部，电子枪安装在底座上，导磁片位于电子枪上方，坩埚位于电子枪上侧，伞架位于真空室本体上部；真空室本体上端安装有电机，电机的轴端与伞架相连；真空室本体的侧壁上开有与真空泵连通的气窗；室门上设有观察窗，观察窗内固定设有第一玻璃板，第一玻璃板的一侧设有卡环，卡环和第一玻璃板之间放置有第二玻璃板。通过挤压两个手持部，使得卡环收缩，然后将卡环从观察窗中取出，再将第二玻璃板取出后更换新的玻璃板，最后将卡环重新放入观察窗。

技术领域

本实用新型属于LED芯片制造设备技术领域，具体涉及一种LED芯片蒸镀机。

背景技术

当前全球能源短缺的忧虑再度升高的背景下，节约能源是我们未来面临的重要的问题，在照明领域，LED发光产品的应用正吸引着世人的目光，LED作为一种新型的绿色光源产品，必然是未来发展的趋势，二十一世纪将进入以LED为代表的新型照明光源时代。LED灯具与白炽灯比较，其最大的发展动力就是节能环保的优势。

LED芯片作为LED灯具的主要部件，在生产过程中，通常需要通过蒸镀机在芯片上镀电极作业，目前，随着长期蒸镀，蒸镀机上观察窗内的玻璃板由于覆盖了镀膜材料而变得模糊，影响观察，不利于工作人员对蒸镀机进行监控，而玻璃板的更换又极为不便。

实用新型内容

为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型目的在于提供一种LED芯片蒸镀机。

本实用新型所采用的技术方案为：

一种LED芯片蒸镀机，包括真空室本体以及与真空室本体转动连接的室门，真空室本体内设有底座、电子枪、导磁片、坩埚和伞架，底座设于真空室本体的底部，电子枪安装在底座上，导磁片位于电子枪上方，坩埚位于电子枪上侧，伞架位于真空室本体上部；真空室本体上端安装有电机，电机的轴端与伞架相连；真空室本体的侧壁上开有与真空泵连通的气窗；室门上设有至少一个圆形的观察窗，观察窗内固定设有第一玻璃板，第一玻璃板朝向真空室本体的一侧设有具有缺口的卡环，卡环和第一玻璃板之间放置有第二玻璃板。

优选地，所述真空室本体上设有用于锁定室门的气动门扣，室门上设有行程开关，真空室本体上设有与行程开关相对的挡板，行程开关与气动门扣电连接。

优选地，所述卡环的缺口处设有向卡环内延伸的手持部。

优选地，所述卡环由弹性材料制成。

优选地，所述坩埚上侧安装有遮板，遮板通过旋转气缸立柱安装在底座上。

优选地，所述室门上设有密封条，真空室本体上设有与密封条匹配的凹槽。

优选地，所述伞架上设有承载孔。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型所提供的一种LED芯片蒸镀机，电子枪发出的电子轰击坩埚内的镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并上升遇到伞架上的LED芯片蒸镀上电极。长期蒸镀后，第二玻璃板上由于覆盖了镀膜材料而影响清晰度，可以通过挤压两个手持部，使得卡环收缩，然后将卡环从观察窗中取出，再将第二玻璃板取出后更换新的玻璃板，最后将卡环重新放入观察窗。

附图说明

图1是本实用新型LED芯片蒸镀机的结构示意图。

图2是本实用新型观察窗的剖视图。

图3是本实用新型卡环的示意图。

图中：1-真空室本体；2-室门；3-底座；4-电子枪；5-导磁片；6-坩埚；7-伞架；8-电机；9-气窗；10-观察窗；11-第一玻璃板；12-卡环；120-手持部；13-第二玻璃板；14-气动门扣；15-行程开关；16-挡板；17-遮板；18-旋转气缸立柱；19-铰链。