[实用新型]一种单晶炉副炉分离结构

权利要求书

1.一种单晶炉副炉分离结构，包括底座(1)、主炉室(2)和副炉室(3)，所述主炉室(2)置于底座(1)上，所述主炉室(2)底部设有下级传动装置(21)，所述主炉室(2)顶部设有炉盖(22)，所述炉盖(22)与副炉室(3)底部之间连通设置有隔离阀室(4)，所述隔离阀室(4)内设有主炉室隔离阀(41)，所述副炉室(3)顶部设有上级传动装置(31)，所述副炉室(3)炉体上设有抬升旋转装置(32)，其特征在于：所述副炉室(3)与隔离阀室(4)之间设有离合结构(5)，所述离合结构(5)包括下级法兰(52)和上级法兰(51)，所述下级法兰(52)与隔离阀室(4)顶部连接，所述下级法兰(52)表面周沿圆周阵列有若干一级螺纹孔(521)，所述一级螺纹孔(521)内螺纹连接有一级定位螺栓(522)，所述上级法兰(51)与副炉室(3)底部连接，所述上级法兰(51)上开设有若干供一级定位螺栓(522)穿过的一级腰形孔(511)，所述一级定位螺栓(522)顶部螺纹连接有与上级法兰(51)表面抵接的一级定位螺母(523)，若干所述一级腰形孔(511)的一端扩大并形成供一级定位螺母(523)穿过的扩张通孔(512)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：相邻所述一级腰形孔(511)之间开设有二级腰形孔(513)，所述二级腰形孔(513)的孔径保持不变，所述下级法兰(52)表面上与二级腰形孔(513)对应的位置圆周阵列有若干二级螺纹孔(524)，所述二级螺纹孔(524)内螺纹连接有二级定位螺栓(525)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：所述一级定位螺母(523)为锥形螺母。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：所述上级法兰(51)为旋转法兰，所述上级法兰(51)与副炉室(3)之间螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：所述下级法兰(52)靠近上级法兰(51)的表面上圆周阵列有若干球形槽(526)，所述球形槽(526)内均放置有滚珠(533)，所述球形槽(526)的口径与滚珠(533)直径相同，所述球形槽(526)的深度与滚珠(533)半径相同，所述上级法兰(51)下表面与滚珠(533)之间滚动连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：所述下级法兰(52)与上级法兰(51)之间夹设有保持盘(53)，所述保持盘(53)上与一级螺纹孔(521)和二级螺纹孔(524)的对应位置均开设有大小相同的限位通孔(531)，所述保持盘(53)上与滚珠(533)的对应位置开设有球形孔(532)，所述保持盘(53)的厚度为滚珠(533)半径的0.8～0.9倍。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：所述副炉室(3)底部设有副炉室隔离阀(33)，所述副炉室隔离阀(33)位于隔离阀室(4)上方。

8.根据权利要求2所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：所述一级腰形孔(511)和二级腰形孔(513)内壁均贴合设置有缓冲橡胶垫(514)。

9.根据权利要求4所述的一种单晶炉副炉分离结构，其特征在于：所述上级法兰(51)外侧周沿贴合设置有环状的防滑橡胶垫(515)。