[实用新型]一种晶圆移动机械手

权利要求书

1.一种晶圆移动机械手，其特征在于，包括：

固定支架(1)；

升降驱动机构(2)，所述升降驱动机构(2)安装在所述固定支架(1)上；

手臂驱动机构(3)，所述手臂驱动机构(3)与所述固定支架(1)滑动连接，并与所述升降驱动机构(2)传动连接；

旋转驱动机构(4)，所述旋转驱动机构(4)设在所述固定支架(1)中，且与所述手臂驱动机构(3)传动连接；

执行机构(5)，所述执行机构(5)包括移动主臂(51)和移动副臂(52)；所述移动主臂(51)一端与所述手臂驱动机构(3)的输出端传动连接，所述移动主臂(51)的另一端与所述移动副臂(52)的连接端传动连接，所述移动副臂(52)上靠近其自由端的位置上安装晶圆吸盘组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述手臂驱动机构(3)包括：壳体(31)、传动轴(35)、电机固定架(32)和旋转电机(36)；

所述升降驱动机构(2)和所述旋转驱动机构(4)分别与所述壳体(31)的底部传动连接；

所述传动轴(35)垂直贯穿所述壳体(31)的顶面且通过轴承与所述壳体(31)连接；

所述电机固定架(32)安装在所述壳体(31)内部，所述旋转电机(36)与所述电机固定架(32)连接，所述旋转电机(36)的输出端与所述传动轴(35)一端传动连接；所述移动主臂(51)的一端与所述传动轴(35)的另一端传动连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，还包括小带轮(33)和大带轮(34)，所述小带轮(33)固定在所述旋转电机(36)的输出轴上；所述大带轮(34)固定在所述传动轴(35)的一端，所述小带轮(33)和所述大带轮(34)传动连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，还包括连接轴(54)，所述移动主臂(51)的另一端与所述移动副臂(52)的连接端通过所述连接轴(54)传动连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，还包括晶圆吸盘组件旋转驱动机构，所述圆吸盘组件旋转驱动机构与所述传动轴(35)的另一端传动连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述圆吸盘组件旋转驱动机构包括第一从动轮(53)、第二从动轮(55)、第三从动轮(56)、旋转轴(58)及第四从动轮(57)，所述移动主臂(51)和所述移动副臂(52)均为中空结构；

所述第一从动轮(53)套设固定在所述传动轴(35)另一端且位于所述移动主臂(51)一端内部；

所述连接轴(54)两端分别通过轴承对应安装在移动主臂(51)另一端和移动副臂(52)的连接端内；所述第二从动轮(55)、第三从动轮(56)分别固定在所述连接轴(54)的两端，且分别位于所述移动主臂(51)一端内部和所述移动副臂(52)的连接端内部；

所述旋转轴(58)一端通过轴承安装所述移动副臂(52)靠近自由端的内部；所述晶圆吸盘组件安装在所述旋转轴(58)的另一端；

所述第四从动轮(57)固定在所述旋转轴(58)上且位于所述移动副臂(52)的自由端内部；所述第一从动轮(53)和第二从动轮(55)，第三从动轮(56)和第四从动轮(57)均通过皮带传动连接；

所述传动轴(35)、所述连接轴(54)及所述旋转轴(58)的中心轴线平行布置。

7.根据权利要求1至6任一项所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述升降驱动机构(2)包括滚珠丝杠、电机a(21)、第一传动轮(22)和第二传动轮(23)；

所述电机a(21)固定在所述固定支架(1)的底部，所述电机a(21)的动力输出轴连接有第一传动轮(22)；

所述第一传动轮(22)与所述第二传动轮(23)传动连接；

所述第二传动轮(23)与所述滚珠丝杠传动连接；

所述滚珠丝杠与所述手臂驱动机构(3)固定连接。