[实用新型]收放卷结构及真空镀膜机有效
申请号: | 201821172447.7 | 申请日: | 2018-07-23 |
公开(公告)号: | CN208949400U | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 闫风 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 刘葛 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卷绕驱动机构 盖板 安装孔 收放卷 本实用新型 动力输出端 真空镀膜机 常压腔室 可靠运行 密封连接 密封装配 室内安装 真空环境 转轴传动 常压腔 可转动 室内 | ||
1.一种收放卷结构,其特征在于,包括框架(100)和箱体(200),所述框架(100)和所述箱体(200)均设置于真空室内:
所述框架(100)上可转动地安装有物料卷(300);
所述箱体(200)包括本体(210)和盖板(220),所述盖板(220)与所述本体(210)密封连接形成常压腔室(400),所述本体(210)靠近所述框架(100)的端面上开设有第一安装孔(240);
所述常压腔室(400)内安装有卷绕驱动机构(500),所述卷绕驱动机构(500)的动力输出端与所述第一安装孔(240)密封装配且与物料卷转轴(310)传动连接。
2.根据权利要求1所述的收放卷结构,其特征在于,所述卷绕驱动机构(500)包括卷绕电机(510)和磁流体密封轴(520),所述卷绕电机(510)的动力输出端与所述磁流体密封轴(520)的动力输入端传动连接,所述磁流体密封轴(520)的动力输出端与所述第一安装孔(240)可转动密封装配且与所述物料卷转轴(310)传动连接。
3.根据权利要求2所述的收放卷结构,其特征在于,所述框架(100)的底座(110)滑设于所述真空室内的导轨(700)上,所述本体(210)靠近所述框架(100)的端面上还开设有第二安装孔(250),所述常压腔室(400)内还安装有纠偏驱动机构(600),所述纠偏驱动机构(600)的输出端与所述第二安装孔(250)可伸缩密封装配且与所述框架(100)固定连接,所述纠偏驱动机构(600)能够驱动所述框架(100)在所述导轨(700)上位移。
4.根据权利要求3所述的收放卷结构,其特征在于,所述纠偏驱动机构(600)包括纠偏电机(610)和纠偏连接波纹管(620),所述纠偏电机(610)安装于所述常压腔室(400)内,所述纠偏连接波纹管(620)与所述第二安装孔(250) 密封装配,所述纠偏连接波纹管(620)的两端分别与所述纠偏电机(610)的动力输出端和所述框架(100)连接。
5.根据权利要求2所述的收放卷结构,其特征在于,所述本体(210)上开设有导线孔(260),出线波纹管(800)的一端与所述导线孔(260)密封安装且另一端导出到所述真空室外,线缆通过所述出线波纹管(800)导出到真空室外。
6.根据权利要求1所述的收放卷结构,其特征在于,所述常压腔室(400)内分布有冷水通道,所述冷水通道通过水路接头(900)通到真空室外。
7.根据权利要求3所述的收放卷结构,其特征在于,所述框架(100)还包括沿所述底座(110)长度方向相对设置的支撑板(120),所述物料卷(300)卷收于卷芯(320),所述卷芯(320)的两端均固定连接所述物料卷转轴(310),所述物料卷转轴(310)可转动地架设在所述支撑板(120)上,所述物料卷转轴(310)与所述磁流体密封轴(520)的动力输出端传动连接。
8.根据权利要求7所述的收放卷结构,其特征在于,所述支撑板(120)远离所述底座(110)的端面上开设有支撑槽(130),所述物料卷转轴(310)上装有轴承(330),所述轴承(330)的外圈与所述支撑槽(130)通过轴承压盖(340)固定连接。
9.根据权利要求3所述的收放卷结构,其特征在于,所述底座(110)与所述导轨(700)之间设置有滑块(710),所述滑块(710)与所述底座(110)固定连接,所述滑块(710)滑设于所述导轨(700)。
10.根据权利要求1所述的收放卷结构,其特征在于,所述盖板(220)与所述本体(210)之间采用用O型密封圈(230)密封。
11.一种真空镀膜机,其特征在于,包括如权利要求1至10中任意一项所述的收放卷结构。
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